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9 Wafer-Wechsel-System Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 193 9 Wafer-Wechsel-System Je nach Stellplatz gibt es zwei verschiedene Versionen, die sich jedoch nur durch die spiegelver- kehrte Anordung de…
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
192 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9 Wafer-Wechsel-System
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 193
9 Wafer-Wechsel-System
Je nach Stellplatz gibt es zwei verschiedene Versionen, die sich jedoch nur durch die spiegelver-
kehrte Anordung der Baugruppen unterscheiden. Für den Greifer gibt es - zwei verschiedene Aus-
führungen für Stellplatz 1/3 und Stellplatz 2/4.
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Wafer Wechsel System SWS12 (1/3) [00387216-xx]
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Wafer Wechsel System SWS12 (2/4) [00386432-xx]
Abb.250: Wafer Wechsel System
1. Magazinlift
2. Greifer
3. Greifer-Abdeckung
9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
194 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9.1 Magazinlift
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Magazinlift SWS12 (1/3) [00387216-xx]
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Magazinlift SWS12 (2/4) [00386436-xx]
Abb.251: Magazinlift
Übersicht der Ersatzteile
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung
03066505-01 Reflexions-Lichttaster (Wafer slot sensor)
00387493-01 Reflexions-Lichttaster (Lift crash sensor)
4 00385143-01 Platine DMC.INT1 Rev.0
3 03106448-01 Spielfreie Elastomerkupplung d9, d10
Lange Metallbalgkupplung DKN 20-32 10 9 (für kurze Kugelumlauf-
spindel)
1 03076559-01 Motor
3 03076606-01 Induktive Sensor NBB2-F29-A2
03076689-xx 2 Mikroschalter Saia Burgess XCG3-S1Z1 mit Verkabelung
9.1.1 Ersatzteile tauschen
9.1.1.1 Vorbereitungen
Alle Arbeiten können im eingebauten Zustand durchgeführt werden.
► Öffnen Sie die Türe.
► Entfernen Sie die Verriegelungsschraube.
► Klappen die vordere Abdeckung nach rechts oder nach links auf (je nach Variante).