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12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 319 Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren Abb.444: Wafer-Aufnahme - Sensor 1 1. Mont…
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
318 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Sensoren beim 8" Hubring demontieren
Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren am Hubring befestigt. Diese Sensoren müs-
sen für den späteren Wiedereinbau vom 8" Hubring demontiert werden. Bei der 12" Waferaufnah-
me werden die beiden Sensoren mit Hilfe der mitgelieferten Winkel auf die Waferaufnahme im
SWS montiert.
Abb.443: Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut
► Demontieren Sie die über den Sensoren angebrachten Hitzeschutzbleche.
► Demontieren Sie die beiden Sensoren (1) von den Montagewinkeln des Hubringes.
► Entnehmen Sie die beiden Sensoren und montieren diese auf die beiden Montagewinkel aus
dem 12" Nachrüstsatz.
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12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 319
Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren
Abb.444: Wafer-Aufnahme - Sensor 1
1. Montagewinkel
2. Sensor auf Montagewinkel montiert
Abb.445: Wafer-Aufnahme - Sensor 2
1. Montagewinkel
2. Sensor auf Montagewinkel montiert
► Montieren Sie die beiden Sensoren (2) auf die Montagewinkel (1) aus dem 12" Nachrüstsat-
zes.
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320 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
Abb.446: Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
► Stellen Sie die elektrischen Verbindungen der Sensoren wieder her.
► Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.