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18 Anhang 18.1 Spezifikation: Not-Aus Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 485 2. Fall: Not-Halt mit Pilzdrucktaster-SIPLACE oder SIPLACE-Haube geöffnet Die Not-Halt-Schleife SIPLACE wird unterbrochen und …
18 Anhang
18.1 Spezifikation: Not-Aus
484 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.1.4 Funktionsbeschreibung
Nach dem Einschalten des SWS erfolgt die Aktivierung des Not-Aus-Schaltgerätes K3 nur unter
den Bedingungen:
●
Not-Halt-Schleife SWS ist geschlossen > Not-Aus-Taster SWS ist deaktiviert.
●
Not-Halt-Schleife SIPLACE ist geschlossen > Haube geschlossen, Starttaste gedrückt.
●
Dabei sind die Ausgangszustände der Eingänge IN1 und IN16 auf Eins.
Anschließend wird die Reset/Start-Schleife geschlossen über das Aktivieren des Start-Relais K4
Set-Output1 (ein/aus 150ms).
Das aktivierte Not-Aus-Schaltgerät K3 schaltet die Schütze K1/K2 ein (24VDC-Spule).
Über die Schützkontakte K1/K2 (25A) wird die Zwischenkreisspannung 48VDC zu den Motorleis-
tungsstufen DMC-19540(20) bereitgestellt.
Die Motorspannung wird erst anschließend über das Motorcontroller-Enable-Signal aktiviert. Das
Signal ABORT (Motor-Amplifier DMC-19540(20)) wird über K2-Öffner deaktiviert.
Ist Not-Aus aktiviert, ist der Kontakt ABORT gegen GND/K2 geschlossen.
Die Betriebsbereit-Lampe (weiß) wird mittels Not-Aus-Schaltgerät eingeschaltet.
Eine 24VDC-Not-Aus-Spannung wird über die Schütze K1 auf Klemme X3-17 bereitgestellt.
Über einen Schließer K2 wird das Hauptventil-Druckluft Y1/PRS für den Die-Ejector Z-Hub einge-
schaltet.
Bei Not-Aus-Aktivierung ist der Kontakt geöffnet und die Druckluft (DE Z-Hub) ausgeschaltet.
Die Druckluftventile der Zylinder für Tool-Z (Pick-Up) und Tool-X (Die-Attach-Unit) werden bei Not-
Aus über die Schütze K1 und K2 ausgeschaltet. Bei Not-Aus-Funktion sind die Antriebe ausge-
schaltet und die Tools werden mittels Federkraft in einer gesicherten Position gehalten.
Das Signal GND/K2, das bei Not-Aus über K2 geöffnet ist, schaltet den Bremsmagneten für die
Funktion Waferlift aus. Die Bremse ist dann aktiv und der Waferlift wird in Position gehalten.
Ist das Not-Aus-Schaltgerät aktiviert, sind drei Signalmeldungen Eins = 24VDC.
●
IN1 = Not-Aus-Taster
●
IN16 = Not-Aus-Schleife SWS
●
IN15 = 48 V DC-Kontrolle für die Motor-Amplifier > Signalbereitstellung in Reihe über K1/K2
und Optokoppler OK6.
Bei Not-Aus schalten die Schütze K1/K2 µm 500ms verzögert aus. Dadurch hat die Steuerung
eine Restlaufzeit für eine kontrollierte Stopp-Funktion.
18.1.4.1 Not-Halt
1. Fall: Not-Halt mit Pilzdrucktaster SWS
Die Not-Halt-Schleife SIPLACE und Not-Halt-Schleife SWS werden unterbrochen, und die jeweils
dazugehörigen Not-Aus-Schaltgeräte schalten die Leistungsschütze (verzögert 500ms) aus.
Die Signalmeldungen (IN1 = Not-Aus-Taster, IN16 = Not-Aus-Schaltgerät, IN15 = 48VDC über K1/
K2) werden Null.
Die Betriebsbereit-Lampe (weiß) wird ausgeschaltet.
Die Not-Halt-Meldung wird für die SIPLACE am Stecker X1x3 (+24V / Extern = Pin-2 und Not-Aus
Meldung = Pin-9) über den Pilzdrucktaster unterbrochen. Daran erkennt die SIPLACE, an welchem
Stellplatz der Not-Halt-Taster gedrückt wurde.
Not-Halt zurücksetzen
1. Der Not-Aus-Pilzdrucktaster muss zuerst entriegelt werden (Drehentriegelung).
Die Signalmeldung (IN1 = Not-Aus-Taster) wird Eins.
Die Not-Halt-Schleife der SIPLACE muss geschlossen werden. Dabei ist die Haube geschlos-
sen, die Starttaste wird gedrückt und danach wird IN16 Eins.
2. Nach der Erkennung der Run-Bereitschaft des Die-Feeders (IN1 = 1, IN16 = 1) wird das Re-
lais-Start K4 (OUT1>150ms) ein/aus geschaltet.
Das Not-Aus-Schaltgerät K3 wird dabei aktiviert und schaltet die Schütze K1/K2 ein.
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18.1 Spezifikation: Not-Aus
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 485
2. Fall: Not-Halt mit Pilzdrucktaster-SIPLACE oder SIPLACE-Haube geöffnet
Die Not-Halt-Schleife SIPLACE wird unterbrochen und schaltet das Not-Aus-Schaltgerät SIPLACE
aus. Über das Not-Aus-Schaltgerät SIPLACE wird die Not-Halt-Schleife SWS unterbrochen.
Die SWS-Leistungsschütze K1/K2 werden über das Not-Aus-Schaltgerät verzögert (500ms) aus-
geschaltet.
Die Signalmeldung IN16 wird sofort Null (Signalmeldung IN1 bleibt Eins). Die Betriebsbereit-Lampe
(weiß) wird ausgeschaltet.
Not-Halt zurücksetzen
Die Not-Halt-Schleife der SIPLACE muss geschlossen werden, Not-Aus-Taster deaktivieren, dabei
ist die Haube geschlossen, die Starttaste wird gedrückt, danach wird IN16 Eins.
Nach der Erkennung der Run-Bereitschaft des Die-Feeders (IN1 = 1, IN16 = 1) wird das Relais-
Start K4 (OUT1 >150ms) ein-/ausgeschaltet.
Das Not-Aus-Schaltgerät K3 wird dabei aktiviert und schaltet die Schütze K1/K2 ein.
3. Fall: Not-Aus-Funktion des SWS bei der Inbetriebnahme ohne SIPLACE
HINWEIS
Nur für SIPLACE-Service-Personal, externe Service-Box ist angeschlossen, Stecker X1x3.
Für die Inbetriebnahme des SWS (ohne SIPLACE) wird die externe Not-Halt-Funktion mittels Ser-
vice-Box simuliert.
Die Not-Aus-Funktionen intern und extern (Service-Box) bleiben dabei erhalten.
Bei Betätigung der Starttaste (Service-Box) wird über das Relais (Selbsthaltefunktion) die interne
Not-Aus-Schleife geschlossen. Die beiden Not-Aus-Taster (intern und extern) müssen dabei vorab
entriegelt sein.
Nach der Erkennung der geschlossenen Not-Aus-Schleife des Die-Feeders (IN1 = 1, IN16 = 1)
wird das Relais-Start K4 (OUT1>150ms) ein/aus geschaltet.
Das Not-Aus-Schaltgerät K3 wird dabei aktiviert und schaltet die Schütze K1/K2 ein.
Bei Not-Aus-Betätigung (Not-Aus-Taster intern oder extern) schalten die Schütze K1/K2 um
500ms verzögert aus.
18.1.5 Not-Aus-Erweiterung an der SIPLACE
Stellplatz 1, Stecker X113
Stellplatz 3, Stecker X133
Fehlende Signale:
●
Pin-5 = SWS-Not-Halt-Schleife Ausgang
●
Pin-6 = SWS-Not-Halt-Schleife Eingang
●
Pin-9 = Not-Halt-Meldung SWS zur SIPLACE > Input
An den Stellplätzen 1 und 3 kann der Die-Feeder oder MTC kein Not-Aus-Signal von der SIPLACE
empfangen. Die externe Not-Halt-Schleife fehlt.
Die Not-Halt-Meldung (Interne Abfrage) für die SIPLACE vom Stellplatz 1 und 3 fehlt.
Aktion:
Die Not-Halt-Schleife in der SIPLACE wird mit den Schaltgerät 3TK2830-1CB30 für die Stellplätze
1 und 3 erweitert.
Elektrischer Schaltplan siehe Dokument Nr.: "EMG_SIPLACE".
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18.2 Spezifikation: Power-Versorgung
486 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Optional:
Die SIPLACE hat bei etlichen Versionen in Jahr 2005-2007 eine doppelte Not-Halt-Schleife mit
UND-Verknüpfung, eingebunden mit dem Anwesenheits-Signal-Output16, X1x3-Pin7. Folgende Si-
gnale müssen an den Platinen abgeklemmt werden:
●
M_BE-Tisch 1 = Platine A5/X1re-Pin3
●
M_BE-Tisch 4 = Platine A5/X1re-Pin7
●
M_BE-Tisch 2 = Platine A5/X1qe-Pin3
●
M_BE-Tisch 3 = Platine A5/X1qe-Pin7
Anschließend müssen diese Eingänge an den Platinen Pin3/Pin7 auf 24V gelegt werden, kom-
mend von der Klemmleiste X1ra oder X1qa.
18.2 Spezifikation: Power-Versorgung
18.2.1 Versorgungs- und Schaltelemente
●
3-Phasen-Netzfilter EPCOS Typ B84143-A08-R000 480/265VAC, 50/60Hz, 8A
●
1 Hauptschalter 3polig, 16A, 3LD2003-0TK53
●
1 Leistungsschutzschalter 3polig, 3RV1421-1JA10, Einstellung von 7-10A
●
3-Phasen-Gleichrichtergerät Typ 4AV3596-0EC40-0A 690VA, Schutzart: IP00
●
1 Leitungsschutzschalter 1polig, 5SY2102/C/2A für 24VDC Monitor
●
1 Leitungsschutzschalter 2polig, 5SY6204/C/4A für 230VAC Rechner
●
1 Leitungsschutzschalter 1polig, 5SY2102/C/2A für 24VDC Monitor
●
1 Leitungsschutzschalter 1polig, 5SY2102/C/6A für 24VDC Control
●
1 Leitungsschutzschalter 1polig, 5SY2102/D/13A für 48VDC Driver
●
2 Leistungsschütze 3pol. K1/K2 Spule 24VDC / Schaltleistung 11KW / 25 A
●
2 Hilfsbaustein 1S/1Ö mit mechanischer Kopplung an K1/K2
18.2.2 Allgemeiner Aufbau der Power-Versorgung
Die werkseitig angebotene elektrische Energie (Drehstrom, ohne N-Bezug) wird im hinteren Unter-
bau (Schweißrahmen) durch eine PG13-Verschraubung direkt zum Netzfilter Z1 zugeführt.
Das PE (Earth-Potenzial) wird direkt an den Schweißrahmen (M5 Ringkabelschuh) und anschlie-
ßend an den Netzfilter angeschlossen.
Das Einspeisungskabel (4x2,5 mm²) über den Filter bis zum Hauptschalter Q1 hat eine gelb um-
mantelte Kennzeichnung.
Der Hauptschalter 3x16A (gelber Unterbau mit rotem Drehschalter) ist an der Seitenwand (rechts
oder links) am Waferlift gut zugänglich angebracht.
Die Einspeisung für die Schalttafel, kommend vom Hauptschalter, wird auf Klemme X1 geführt. Auf
der Schalttafel befindet sich die Absicherung Q2 für das 3-Phasen-Gleichrichtergerät T1.
Der Zugang zum Rechner und den Absicherungen Q1/ F1-F4 auf der Schalttafel ist durch die unte-
re Waferlift-Türe gegeben.
Durch das Aufklappen des Waferliftes und 50cm herausschieben der Schalttafel ist der Zugang zu
AMP-Motoramplifirer, IO-Platine und Vakuumpume gegeben.