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15 Kalibrierung 15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit 374 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 15.2.5 Regeln für den Setup-Modus – Sicherheitsrelevantes Thema! HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN ► …

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15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 373
Abb.527:
► Nach dem Umstecken der Kabel ist der Setup-Modus aktiviert (Setup mode is activa-
ted!(13)).
► Sie müssen das Passwort (14) für den Setup-Modus eingeben → SetupTools.
Abb.528:
► Nach der Eingabe des Passworts wird SIPLACE Service (15) aktiviert!
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
374 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.2.5 Regeln für den Setup-Modus – Sicherheitsrelevantes Thema!
HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus muss aktiviert sein!
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
WARNUNG
► Unabhängig davon, ob der Setup-Modus aktiviert ist oder nicht, muss der Magazinlift
geschlossen und eingeklappt sein, die Turmverriegelungsschraube muss festgezogen
sein!
► Damit die Schraube zugänglich ist, muss der Magazinlift in der Wechselposition sein.
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
15.3.1 Vorbereitung - Haltezylinder der Z-Achse einstellen
Bevor Sie die Kalibrierung starten, müssen der Haltezylinder für die Flip-Z-Achse und der Die-
Attach-Transfer-X-Motor (optional) eingestellt werden!
Dies ist nötig, um im stromlosen Zustand eine leichtgängige Bewegung des Kugellagers der Z-
Achse im Laufring der DP-Achse zu gewährleisten.
Beim Referenzieren der Flip-Drehachse sind die Flip-Z-Achse und die Transfer-X-Achse des Die-
Attach-Moduls (optional) stromlos.
In diesem Zustand werden diese beiden Achsen durch die Haltezylinder in Position gehalten.
Vor der Initialisierung der Z-Achse und der Transfer-X-Achse wird der Haltezylinder freigegeben
und die Achse kann verfahren.
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 375
Auf leichtgängige Bewegbarkeit prüfen
► Um die Position der Haltezylinder zu prüfen, öffnen Sie die Not-Aus-Schleife (z.B. durch
Drücken des Not-Aus-Schalters (Standalone) oder durch Öffnen der SIPLACE-Maschine (in-
stalliertes SWS)), so dass alle Achsen stromlos sind.
► Dann bewegen Sie die Drehachse des Flip-Kopfes manuell in beide Richtungen.
Abb.529:
► Drehen Sie in beide Richtungen von einem Ende bis zum anderen, um sicherzustellen, dass
beide Kugellager leichtgängig über die Transferposition gleiten.
Abb.530:
► Das Kugellager der Z-Achse (1) muss leichtgängig an den Kanten (4) zwischen dem Laufring
(3) und dem Betätiger der Z-Achse (2) vorbei gleiten.
► Der Haltezylinder der Z-Achse hält den Betätiger in der oberen Position, um einen Crash der
Z‑Achse zu verhindern, wenn das SWS ausgeschaltet ist.
► Wenn diese Position zu niedrig oder zu hoch ist, stößt das Kugellager an den Kanten zwi-
schen dem Betätiger (2) und dem Laufring (3) an und die Drehachse kann nicht leichtgängig
verfahren.
► Die Position des Haltezylinders der Z-Achse muss eingestellt werden.
Der Unterschied zwischen der alten und der aktuellen Version besteht lediglich in der Verriegelung
des Haltezylinders mit Kontermutter oder Madenschraube.
Die Position des Haltezylinders wird in beiden Versionen auf dieselbe Weise eingestellt (siehe
nächstes Kapitel).