00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第151页

7 Die-Ejector 7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 151 Abb.186: ► Fahren Sie den Wafertisch in Wechselposition (4) . ► Verlassen Sie dieses Menü i…

7 Die-Ejector

7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position

150 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Abb.184:

(3) Y-Richtung → Verfahren der Grundplatte Richtung Waferlift

(4) X-Richtung → Verfahren der Grundplatte Richtung SWS-Seiten

(5) Verstellschraube zum Verfahren der Grundplatte in Y-Richtung (Inbus 4mm)

(6) Verstell-Vierkantwelle zum Verfahren der Grundplatte in X-Richtung (Gabelschlüssel SW5)

7.4.1.2 Vorbereitende Tätigkeiten

► Schalten Sie den SWS ein und initialisieren Sie das System.

► Loggen Sie sich als SIPLACE Service ein.

Abb.185:

► Wechseln Sie in das Menü Wafer-Handling (1 bis 3).

7 Die-Ejector

7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 151

Abb.186:

► Fahren Sie den Wafertisch in Wechselposition (4).

► Verlassen Sie dieses Menü in die Hauptansicht.

Abb.187:

► Wechseln Sie mit den Schritten (5) bis (7) in das Menü Die-Handling.

7 Die-Ejector

7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position

152 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Abb.188:

► Wechseln zu Ejection-Unit (8).

Abb.189:

► Fahren Sie die Die-Ejector-Unit nach oben (9).

► Drücken Sie den Not-Aus-Schalter am SWS.

Mit dem Drücken des Not-Aus-Schalters sind alle Achsen freigeschaltet und können von

Hand verschoben werden.

Die nach oben gefahrene Die-Ejector-Unit bleibt dabei in Position.