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12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen 318 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Sensoren beim 8" Hubring demontieren Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren …

12 Wafer-Stretcher

12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 317

Hubring bei 8“-Waferstretcher entfernen

Der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme muss ausgetauscht werden.

Abb.442: Wafer-Aufnahme - Hubring ausbauen

► Entfernen Sie die vier Schrauben (1) (Fixierung des Hubringes).

► Entnehmen Sie die Fixierscheibe (2) und die Feder (3). Achten Sie darauf, dass Sie die Fixier-

scheibe (2) und die Feder (3) für den späteren Wiedereinbau nicht verlieren.

► Stecken Sie die beiden Sensoren (4) am Stecker (5) der Kabelverlängerung (6) ab.

► Entnehmen Sie den Hubring.

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12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen

318 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Sensoren beim 8" Hubring demontieren

Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren am Hubring befestigt. Diese Sensoren müs-

sen für den späteren Wiedereinbau vom 8" Hubring demontiert werden. Bei der 12" Waferaufnah-

me werden die beiden Sensoren mit Hilfe der mitgelieferten Winkel auf die Waferaufnahme im

SWS montiert.

Abb.443: Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut

► Demontieren Sie die über den Sensoren angebrachten Hitzeschutzbleche.

► Demontieren Sie die beiden Sensoren (1) von den Montagewinkeln des Hubringes.

► Entnehmen Sie die beiden Sensoren und montieren diese auf die beiden Montagewinkel aus

dem 12" Nachrüstsatz.

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12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 319

Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren

Abb.444: Wafer-Aufnahme - Sensor 1

1. Montagewinkel

2. Sensor auf Montagewinkel montiert

Abb.445: Wafer-Aufnahme - Sensor 2

1. Montagewinkel

2. Sensor auf Montagewinkel montiert

► Montieren Sie die beiden Sensoren (2) auf die Montagewinkel (1) aus dem 12" Nachrüstsat-

zes.