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9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 203 9.2 Greifer ● Greifer SWS12 (1/3) [00387108-xx] ● Greifer SWS12 (2/4) [00385525-xx] 9.2.1 Übersicht der Hauptbaugruppen Abb.260:…
9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
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9.1.2 Elektrik
HINWEIS
Stromlaufpläne beachten
Details zu den elektrischen Baugruppen des Waferliftes entnehmen Sie bitte den Strom-
laufplänen [00195960‑xx].
Abb.259: Elektrik unten am Waferlift (Übersicht)
1. Verstärkermodul 2-Achsen AMP-19520
2. Platine DMC Interface Input/Output
3. Schützsicherheitskombination mit Optokoppler
4. Sicherung 3 AT auf der Platine DMC Interface
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 203
9.2 Greifer
●
Greifer SWS12 (1/3) [00387108-xx]
●
Greifer SWS12 (2/4) [00385525-xx]
9.2.1 Übersicht der Hauptbaugruppen
Abb.260: Hauptbaugruppen des Greifers (Stellplatz 2/4)
1. Greifer
2. Zahnriemenachse
3. Motor mit Kupplung
4. Platine AD-MOT unter der Abdeckung
Abb.261: Hauptbaugruppen des Greifers (Stellplatz 1/3)
5. Greifer
6. Zahnriemenachse
7. Motor mit Kupplung
8. Platine AD-MOT
9. Höhenjustage
10. Barcodescanner (optional)
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
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9.2.2 Übersicht der Ersatzteile
Abb.262: Ersatzteile auf der Greifer-Einheit (Beispiel für Stellplatz 2/4)
Abb.263: Ersatzteile am Greifer (für Stellplatz 2/4)