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12 Wafer-Stretcher 12.6 Einbau Wafer-Stretcher 302 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.422: ► Schieben Sie den Mitnehmerblock mitsamt dem kompletten Wafer-Stretcher zur Spindelmut- ter und verschraub…

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12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 301
Abb.420:
► Heben Sie nun den Wafer-Stretcher vorsichtig auf die vier Führungswägen.
► Positionieren Sie die vier Führungswägen so, damit die Befestigungsbohrungen im Wafer-
Stretcher mit den Gewindebohrungen in den Führungswägen fluchten.
► Schrauben Sie alle vier Führungswägen fest.
Nun muss die Verbindung des Wafer-Stretcher mit der Antriebsspindel in X-Richtung wie folgt her-
gestellt werden:
Abb.421:
An der Waferlift-Seite befinden sich die X-Achsen-Spindeln.
► Entfernen Sie die vier Inbusschrauben der Spindelmutter vom Mitnehmerblock.
► Trennen Sie den Mitnehmerblock von der Spindelmutter.
► Befestigen Sie den Mitnehmerblock an den vorgesehenen Gewindebohrungen und ziehen Sie
die beiden Sechskantschrauben handfest an.
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
302 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.422:
► Schieben Sie den Mitnehmerblock mitsamt dem kompletten Wafer-Stretcher zur Spindelmut-
ter und verschrauben Sie die Einheit mit den vier Inbusschrauben.
► Ziehen Sie die beiden Sechskantschrauben fest an.
ð Nun ist die Verbindung des Wafer-Stretcher zur X-Achsenspindel hergestellt!
Als nächstes werden die beiden Hubzylinder der Stretcher-Betätigung wie folgt montiert:
Abb.423:
► Montieren Sie den Hubzylinder inklusive der Buchse.
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 303
Abb.424:
► Montieren Sie den Klemmzylinder mit der unteren Schraube (die Sensor-Labels am Klemmzy-
linder befinden sich dann oben).
► Die obere Schraube wird noch nicht montiert. Mit dieser Schraube wird später das Abdeck-
blech fixiert.
Abb.425:
► Schieben Sie den Wafer-Stretcher auf die andere Seite.
Achten Sie darauf, dass die noch immer ausgerollte Kabelkette und die Kabel sich nirgendwo
verhaken.
Achten Sie auch auf den Wafer-Wechsler (Greifer).