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14 Einstellungen und Testen 14.3 Kamera Kalibrierung Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 365 IOs Abb.514: SWS-GUI - Manuelle Einstellungen - Manuelle Subsysteme 1. Manuelle Einstellungen 2. IOs 3. Regist…
14 Einstellungen und Testen
14.2 Manuelle Einstellungen
364 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Main vacuum control system
Abb.512: SWS-GUI - Motor Settings
14.2 Manuelle Einstellungen
Abb.513: SWS-GUI - Manuelle Einstellungen
► Wählen Sie den Button (1) Manuelle Einstellungen.
► Wählen Sie Manuelle Subsysteme (2) und wählen Sie dann IOs (3).
14 Einstellungen und Testen
14.3 Kamera Kalibrierung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 365
IOs
Abb.514: SWS-GUI - Manuelle Einstellungen - Manuelle Subsysteme
1. Manuelle Einstellungen
2. IOs
3. Registerkarten der Subsysteme
14.3 Kamera Kalibrierung
Abb.515: SWS-GUI - Service-Menü
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service
(1) und wählen Sie
dann Die handling calibration (2).
14 Einstellungen und Testen
14.3 Kamera Kalibrierung
366 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Kalibrierung bei komplett unkalibriertem Motor
Abb.516: SWS-GUI - Service-Menü - Camera calibration - Z-Axis
► Wählen Sie auf den Button Z-Axis (1).
► Wählen Sie auf den Button Automatic calibration (2).
► Notieren Sie die Werte für Home position of z axis [µm].
► Tragen Sie die Werte auf den entsprechenden Etiketten am Motorkörper ein.
Kalibrierung bei vorkalibriertem Motor
Wenn der neue Motor bereits in einer Prüfstation kalibriert wurde, dann können Sie die Z-HomePo-
sition übernehmen. Den FlipRotationPositionOffset müssen Sie jedoch im eingebauten Zustand
kalibrieren.
Abb.517: SWS-GUI - Service-Menü - Camera calibration – Flipper
► Wählen Sie den Button Flipper (1).
► Wählen Sie die Registerkarte Calibration (2).
► Wählen Sie den Button Start calibration (3).
► Tragen Sie den Wert Flipper calibration offset [mdeg] auf dem entsprechenden Etikett am
Motorkörper ein.