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4 Einbau und Ausbau des SWS in eine SIPLACE CA-Maschine 4.3 Magazinlift aufschwenken 66 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
4 Einbau und Ausbau des SWS in eine SIPLACE CA-Maschine
4.3 Magazinlift aufschwenken
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 65
4.3 Magazinlift aufschwenken
Für Servicearbeiten an Komponenten, die von oben her nicht zugänglich sind, ist es notwendig,
den Innenraum des SWS von der Vorderseite her zugänglich zu machen.
VORSICHT
Kippgefahr des Magazinlifts
► Stellen Sie unbedingt sicher, dass der Stützfuß des SWS zur Seite ausgeklappt ist,
bevor Sie den Magazinlift aufschwenken. Andernfalls besteht die Gefahr, dass der
Magazinlift kippt.
Abb.43: Ausgeklappter Stützfuß
► Klappen Sie den Stützfuß des SWS zur Seite aus.
4 Einbau und Ausbau des SWS in eine SIPLACE CA-Maschine
4.3 Magazinlift aufschwenken
66 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.1 Funktionsbeschreibung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 67
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
Diese Baugruppe besteht aus den beiden Einzelmodulen Grundrahmen und X/Y-Unit!
Je nach Stellplatz gibt es zwei verschiedene Versionen, die sich jedoch nur durch die spiegelver-
kehrte Anordnung der Baugruppen unterscheiden.
●
Grundrahmen SWS12 (1,3) [00386774-xx] und X/Y-Unit SWS12 (1,3) [00386776-xx]
●
Grundrahmen SWS12 (2,4) [00385830-xx] und X/Y-Unit SWS12 (2,4) [00385864-xx]
Diese Baugruppen sind nicht als Ersatzteile definiert.
5.1 Funktionsbeschreibung
Diese Komplettbaugruppe besitzt jeweils eine Motoreinheit für X- und Y-Richtung. Es handelt sich
hier um Servomotoren mit einer Encoder-Positionierung. Der Antrieb der Achsen erfolgt über Spin-
deln mit Kugelumlauflager. Die Verbindung zwischen Motor und Spindel ist mit Elastomerkupplun-
gen umgesetzt.
Mithilfe der X/Y-Unit wird der Wafer über dem Die-Ejector positioniert oder der Waferlift bedient.
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
Abb.44: Komplette Baugruppe "Grundplatte – X/Y-Unit" für einen SWS 1/3