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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 359 Abb.504: ► Vergleichen Sie alle Jumper auf der neuen Karte vor dem Einbau…

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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
358 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
13.3.2 GALIL AMP-19540 im Detail
Abb.503:
Alle angeschlossenen Kabel haben die gleichen Bezeichnungen wie die Stecker auf der GALIL-
Karte.
Die sind in unserem Beispiel für AXIS1-4:
Bezeichnung Beschreibung
X03 Einspeisung 48V von der Stromversorgung zum Antrieb der Achsmotoren
MP1 Ausgang Spannungsversorgung Motor Wafer-Table X-Achse
MP2 Ausgang Spannungsversorgung Motor Wafer-Table Y-Achse
MP3 Ausgang Spannungsversorgung Motor Die-Ejector Tool-Change
MP4 Ausgang Spannungsversorgung Motor Die-Ejector
ENC1 Encodersignale Motor Wafer-Table X-Achse
ENC2 Encodersignale Motor Wafer-Table Y-Achse
ENC3 Encodersignale Motor Die-Ejector Tool-Change
ENC4 Encodersignale Motor Die-Ejector
J31 AUX-IO → Limit-Switches Achsen 1-4 / Input Signale 1-8 / Output Signale 1-8
Analog-1 ANALOG-Input 1-8 (Optional)
J1 Verbindung PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller DMC-1886 im BoxPC (Control)
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 359
Abb.504:
► Vergleichen Sie alle Jumper auf der neuen Karte vor dem Einbau mit der alten Karte.
► Falls die neue GALIL-Karte noch keine LABEL für die Anschlüsse hat, versuchen Sie, die La-
bel der alten Karte auf die neue Karte zu übertragen.
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13.3.3 Einbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen
Tipp zum Einbau
Aufgrund der schwierigen Einbaulage wird es, wenn die Vakuumpumpe nicht ausgebaut wurde
(wie in unserem Beispiel), sehr schwierig, die GALIL-Karte anzuschrauben.
Abb.505:
► Nehmen Sie ein Blatt (Stück) Papier.
► Drücken Sie den Inbusschlüssel durch dieses Papier in die Inbusschraube.
► In unserem Beispiel ist das Loch im Papier nur zur Demonstration.
► Benutzen Sie einen gerade Inbus oder Kugelkopf. → Probieren Sie aus, welcher für Sie bes-
ser funktioniert.
ð Danach sollte die Schraube auf dem Inbusschlüssel halten und nicht herunterfallen. So
kann man die Schraube besser an unzugänglichen Bohrungen einsetzen.
Einbau der GALIL-Karte
Abb.506:
► Heben Sie die GALIL-Karte von oben in die dafür vorgesehene Position.