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12 Wafer-Stretcher 12.6 Einbau Wafer-Stretcher 298 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 12.6.2 Montage des Wafer-Stretchers auf die Führungswägen Abb.414: ► Demontieren Sie den Klemmzylinder (1) und den H…

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12 Wafer-Stretcher
12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 297
12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher
Abb.413:
Folgende Bauteile des Wafer-Stretcher wurden ausgebaut:
1. Rahmen Wafer-Stretcher (hier: 12")
2. Abdeckblech Platine
3. Abdeckblech Klemm- und Hubzylinder
4. Niederhalter-Blech links
5. Niederhalter-Blech rechts
Zum Einbau werden die obigen Teile benötigt. Alle notwendigen Schrauben und Befestigungsma-
terialien werden mitgeliefert.
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Der Einbau wird am Beispiel eines 12”-Wafer-Stretchers gezeigt. Die Vorgehensweise für 8“-
Wafer-Stretcher ist identisch.
Falls es sich beim Einbau des Wafer-Stretchers um eine Nachrüstung handelt, lesen Sie auch das
Kapitel 12.4 "Ausbau Wafer-Stretcher" [}284]. Beim Einbau wird auf identische Arbeitsschritte ver-
wiesen. Damit klappt der Einbau vom Verständnis her besser.
12.6.1 Vorbereitungen zum Einbau Wafer-Stretcher
Damit der Wafer-Stretcher eingebaut werden kann, müssen folgende Bedingungen erfüllt sein:
●
Ein Wafertisch wurde ausgebaut.
●
Ein anderer Wafer-Stretcher wurde ausgebaut.
Bitte vergewissern Sie sich, dass der Die-Ejector in einer niedrigen Position steht.
Eine Übersicht der Teile des Wafer-Stretchers finden Sie im Abschnitt 12.5 "Teileübersicht Wafer-
Stretcher" [}297].
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
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12.6.2 Montage des Wafer-Stretchers auf die Führungswägen
Abb.414:
► Demontieren Sie den Klemmzylinder (1) und den Hubzylinder (2) vom Wafer-Stretcher. Die
Abbildung ist nur beispielhaft, da sie den demontierten Zustand im SWS zeigt!
Abb.415:
► Zur Demontage entfernen Sie die beiden Schrauben an den Zylindern.
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
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Abb.416:
► Ziehen Sie den X/Y-Tisch ganz zur Waferlift-Seite (1).
► Positionieren Sie den Wafer-Wechsler (Greifer) ganz hinten (2).
► Reinigen Sie die Oberfläche der Führungswägen (3).
► Positionieren Sie die Führungswägen vorab in etwa auf die Position der Befestigungsbohrun-
gen im Wafer-Stretcher.
Abb.417:
► Heben Sie nun vorsichtig den Wafer-Stretcher auf den X/Y-Tisch.