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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 253 Abb.342: ► Setzen Sie das Füllstück ein (siehe Abbildung). Ziehen Sie jedoch die Sicherun…

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10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS
252 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Setzen Sie die Dichtungskappe auf den offenen Vakuumschlauch.
Abb.340:
Das Füllstück ist erforderlich, um den Spalt im Laufring des Flip-Kopfes auszufüllen, nachdem die
Die-Attach-Unit ausgebaut ist. Das Füllstück ist auf dem Die-Attach-Modul montiert (siehe Abbil-
dung).
Abb.341:
► Öffnen Sie die Sicherungsschrauben des Füllstückes und nehmen Sie es heraus.
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Abb.342:
► Setzen Sie das Füllstück ein (siehe Abbildung). Ziehen Sie jedoch die Sicherungsschrauben
noch nicht voll an.
Abb.343:
Das Füllstück muss mit der in der Abbildung gezeigten Einstell-Lehre justiert werden. Die Einstell-
Lehre befindet sich in der Service-Box des SWS.
VORSICHT
Wenn das Füllstück nicht mit der Lehre justiert ist, gibt es eine Stufe zum Laufring des Flip-
Kopfes. Wenn das Lager des Segmentes über diese Stufe fährt, wird das abgeholte Die
verschoben oder geht verloren!
► Setzen Sie die Einstell-Lehre in das locker montierte Füllstück ein. Die Kanten der
Einstell-Lehre müssen innerhalb des Laufrings liegen (siehe folgende Abbildung).
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Abb.344:
HINWEIS
► Decken Sie die Öffnung des Die-Ejectors z.B. mit einem Stück Pappe ab (als Schutz
um für den Fall des Herunterfallens Schäden zu vermeiden). Vergessen Sie nicht die
Abdeckung abzunehmen, nachdem Sie fertig sind.
Abb.345:
► Ziehen Sie die beiden Sicherungsschrauben des Füllstückes leicht an.
► Nehmen Sie die Einstell-Lehre heraus.
► Bewegen Sie die Drehachse des Flip-Kopfes von Hand und stellen Sie sicher, dass das Seg-
mentlager leichtgängig über das Füllstück läuft.
► Die Kabel und Schläuche für die Die-Attach-Unit müssen mit Kabelbindern zusammen gebun-
den werden (siehe folgende Abbildungen).
– Wenn die Kabel hochstehen, kommt es zu einem Crash mit dem Bestückkopf!
– Wenn Kabel durchhängen werden diese vom Wafertisch beschädigt!