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8 Flip-Unit 8.3 Ersatzteile tauschen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 183 8.3.4.2 Platine für Dunkelfeldbeleuchtung tauschen Abb.236: Platine für Dunkelfeldbeleuchtung tauschen ► Demontieren Sie die W…
8 Flip-Unit
8.3 Ersatzteile tauschen
182 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.234: Waferkamera ausbauen
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (1) der Waferkamera. Die drei Kamera-
Befestigungsschrauben (3) sind versiegelt und dürfen nicht gelöst werden.
► Ziehen Sie die Kamera nach oben ab. Die Kamera sitzt auf zwei Passstiften (2).
► Setzen Sie die neue Waferkamera ein und befestigen Sie diese mit den zuvor entfernten
Schrauben.
► Montieren Sie den Kamerastecker. Am Kamerastecker ist mit der mittleren Schraube noch ein
Schirm mit eingeklemmt.
► Schließen Sie die Anschlüsse 1 und 2 an die USB-Platine an.
► Fädeln Sie beiden Flachbandkabel (Anschlüsse 1 und 2) wieder ein und stecken Sie diese an
der USB-Platine an. Achten Sie darauf, dass die Kontaktierung unten liegt.
8.3.4.1 Platine für Hellfeldbeleuchtung tauschen
Abb.235: Platine für Hellfeldbeleuchtung tauschen
► Entfernen Sie die Abdeckung (1) mit den vier Befestigungsschrauben.
► Entfernen Sie die beiden Schrauben der Platine (2). Achten Sie auf die darunter liegende
Streuscheibe.
► Ziehen Sie das Flachbandkabel von der Platine (2) ab.
► Montieren Sie die neue Platine.
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8.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 183
8.3.4.2 Platine für Dunkelfeldbeleuchtung tauschen
Abb.236: Platine für Dunkelfeldbeleuchtung tauschen
► Demontieren Sie die Waferkamera soweit, dass Sie die Waferkamera umgedreht ablegen
können (siehe 8.3.4 "Waferkamera an Flip-Unit ausbauen" [}181]).
VORSICHT
Prismenspiegel nicht berühren
Der Prismenspiegel (3) sollte nicht berührt werden.
► Ist der Prismenspiegel verschmutzt, dann reinigen Sie diesen mit einem fusselfreiem
Tuch.
► Entfernen Sie die vier Schrauben der Abdeckplatte (1).
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben der Streuscheibe (2) und heben Sie die
Streuscheibe ab.
► Entfernen Sie die beiden Schrauben der Platine.
► Ziehen Sie das Flachbandkabel von der Platine ab.
► Montieren Sie die neue Platine.
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8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
184 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
8.4.1 Benötigte Hilfsmittel und Werkzeuge
Abb.237: Benötigte Hilfsmittel und Werkzeuge
1. Gabelschlüssel 5 mm
2. Teflonband
3. Kalibrierpipette oder Pipette 905 oder 906
4. Inbusschlüssel 1,5 mm, gekürzt
8.4.2 Vorbereitung
► Setzen Sie auf beide Segmente eine Kalibrierpipette. Alternativ kann eine sehr spitze Stan-
dardpipette (z.B. 905, 906) verwendet werden.
► Laden Sie einen Wafer auf den Wafertisch.
► Fahren Sie den Tisch in Wafer-Wechselposition.
Abb.238: Teflonband auf Waferfolie
► Kleben Sie ein Stück Teflonband (1) auf die Waferfolie.