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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS 248 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.331: ► Stecken Sie den schwarzen Vakuumschlauch (8) von Ventil Y6 ab (Ventil Y6 schal…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS
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Abb.329:
► Entfernen Sie die Schrauben der Encoder-Kabel (5) für den Die-Attach-Segmentmotor und
den Transfer-X-Motor und ziehen Sie die Stecker ab.
► Stecken Sie die Stromstecker der Encoder-Kabel (6) für den Die-Attach-Segmentmotor und
den Transfer-X-Motor ab.
Abb.330:
► Ziehen Sie den blauen und den grauen Schlauch (7) ab.
Blauer Schlauch: An Ventil Y8 angeschlossen, Luftdrucksteuerung für das Die-Attach-Seg-
ment Blasluft
Grauer Schlauch: 5Bar für die Freigabe des Transfer-X-Motors
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248 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.331:
► Stecken Sie den schwarzen Vakuumschlauch (8) von Ventil Y6 ab (Ventil Y6 schaltet das
Vakuum für das Die-Attach-Segment).
► Entfernen Sie die drei Sicherungsschrauben der Die-Attach-Unit und nehmen Sie diese her-
aus.
Eine Schraube wird durch das Vakuumventil Y6 verdeckt. Um die Schraube zugänglich zu
machen muss das Ventil gedreht werden.
Fahren Sie mit den folgenden Schritten fort:
Abb.332:
► Entfernen Sie die beiden unteren Sicherungsschrauben von Ventil Y6 (9).
► Lockern (nicht entfernen) Sie die einzelne obere Schraube (10).
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Abb.333:
► Drehen Sie Ventil Y8 um die Sicherungsschraube der Die-Attach-Unit zugänglich zu machen
(11).
► Entfernen Sie die Sicherungsschraube (12).
Abb.334:
► Entfernen Sie die Sicherungsschraube (13).