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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS 252 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 ► Setzen Sie die Dichtungskappe auf den offenen Vakuumschlauch. Abb.340: Das Füllstück is…
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Abb.337: Teile
Die Teile in der Abbildung werden im Folgenden benötigt, um die offenen Druckluft- und Vakuum-
anschlüsse zu verschließen.
Die Dichtungskappe und die Verschlussstopfen werden mit der Die-Attach-Unit geliefert.
Abb.338: Stopfen
► Stecken Sie die Verschlussstopfen auf die offenen Druckluftanschlüsse.
Abb.339:
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► Setzen Sie die Dichtungskappe auf den offenen Vakuumschlauch.
Abb.340:
Das Füllstück ist erforderlich, um den Spalt im Laufring des Flip-Kopfes auszufüllen, nachdem die
Die-Attach-Unit ausgebaut ist. Das Füllstück ist auf dem Die-Attach-Modul montiert (siehe Abbil-
dung).
Abb.341:
► Öffnen Sie die Sicherungsschrauben des Füllstückes und nehmen Sie es heraus.
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Abb.342:
► Setzen Sie das Füllstück ein (siehe Abbildung). Ziehen Sie jedoch die Sicherungsschrauben
noch nicht voll an.
Abb.343:
Das Füllstück muss mit der in der Abbildung gezeigten Einstell-Lehre justiert werden. Die Einstell-
Lehre befindet sich in der Service-Box des SWS.
VORSICHT
Wenn das Füllstück nicht mit der Lehre justiert ist, gibt es eine Stufe zum Laufring des Flip-
Kopfes. Wenn das Lager des Segmentes über diese Stufe fährt, wird das abgeholte Die
verschoben oder geht verloren!
► Setzen Sie die Einstell-Lehre in das locker montierte Füllstück ein. Die Kanten der
Einstell-Lehre müssen innerhalb des Laufrings liegen (siehe folgende Abbildung).