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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 87 Abb.79: ► Entfernen Sie die vier Inbus-Befestigungsschrauben (nicht die Kreuzschlitz-Schrauben!) der Kupplungsplatte mit de…
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
86 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.77:
Abb.78:
► Lockern Sie vorsichtig den Kabel-Niederhalter unter der Kupplungsplatte X-Motor.
Aufgrund der Bauraumbeschränkung muss hier mit dem Kugelkopf eines Inbus gearbeitet
werden.
Achten Sie darauf die Schraube nicht zu beschädigen!
► Entfernen Sie die Schraube des Kabel-Niederhalters nicht komplett. Schwenken Sie dann den
Kabel-Niederhalter vom Schirmungskabel!
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 87
Abb.79:
► Entfernen Sie die vier Inbus-Befestigungsschrauben (nicht die Kreuzschlitz-Schrauben!) der
Kupplungsplatte mit der Spindelplatte.
Abb.80:
► Entfernen Sie die beiden Klemmschrauben der Kupplung.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
88 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.81:
► Verschieben Sie den Wafertisch, bis der X-Motor mit der halbrunden Aussparung im Seiten-
rahmen fluchtet!
Abb.82:
► Entfernen Sie nun die beiden Befestigungsschrauben auf der Frontseite des Kupplungsge-
häuses.
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben auf der Rückseite mit einem kurzen (modifi-
zierten) Inbus-Schlüssel.