00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第297页

12 Wafer-Stretcher 12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 297 12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher Abb.413: Folgende Bauteile des Wafer-Stretcher wurden ausgebaut: 1. Rahm…

100%1 / 510
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
296 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.411:
► Seien Sie vorsichtig beim Verschieben des Wafer-Stretchers in Y-Richtung. Die Kabel der
ausgerollten Energiekette können sich an den oberen Baugruppen verfangen.
Abb.412:
► Schieben Sie den Wafer-Wechsler in eine hintere Position (1) und fädeln Sie den Wafer-Stret-
cher vorsichtig unten durch den Rahmen aus (2).
12 Wafer-Stretcher
12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 297
12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher
Abb.413:
Folgende Bauteile des Wafer-Stretcher wurden ausgebaut:
1. Rahmen Wafer-Stretcher (hier: 12")
2. Abdeckblech Platine
3. Abdeckblech Klemm- und Hubzylinder
4. Niederhalter-Blech links
5. Niederhalter-Blech rechts
Zum Einbau werden die obigen Teile benötigt. Alle notwendigen Schrauben und Befestigungsma-
terialien werden mitgeliefert.
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Der Einbau wird am Beispiel eines 12”-Wafer-Stretchers gezeigt. Die Vorgehensweise für 8“-
Wafer-Stretcher ist identisch.
Falls es sich beim Einbau des Wafer-Stretchers um eine Nachrüstung handelt, lesen Sie auch das
Kapitel 12.4 "Ausbau Wafer-Stretcher" [}284]. Beim Einbau wird auf identische Arbeitsschritte ver-
wiesen. Damit klappt der Einbau vom Verständnis her besser.
12.6.1 Vorbereitungen zum Einbau Wafer-Stretcher
Damit der Wafer-Stretcher eingebaut werden kann, müssen folgende Bedingungen erfüllt sein:
●
Ein Wafertisch wurde ausgebaut.
●
Ein anderer Wafer-Stretcher wurde ausgebaut.
Bitte vergewissern Sie sich, dass der Die-Ejector in einer niedrigen Position steht.
Eine Übersicht der Teile des Wafer-Stretchers finden Sie im Abschnitt 12.5 "Teileübersicht Wafer-
Stretcher" [}297].
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
298 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.6.2 Montage des Wafer-Stretchers auf die Führungswägen
Abb.414:
► Demontieren Sie den Klemmzylinder (1) und den Hubzylinder (2) vom Wafer-Stretcher. Die
Abbildung ist nur beispielhaft, da sie den demontierten Zustand im SWS zeigt!
Abb.415:
► Zur Demontage entfernen Sie die beiden Schrauben an den Zylindern.