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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen 362 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.509: ► Stellen Sie alle Kabelverbindungen auf der GALIL-Karte wieder …
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 361
► Richten Sie die GALIL-Karte so aus, dass die Bohrlöcher fluchten.
Abb.507:
► Schrauben Sie die vier Befestigungsschrauben inkl. Beilagscheiben in die dafür vorgesehe-
nen Löcher.
► Benutzen Sie das Papier zum Fixieren der Schrauben auf dem Inbusschlüssel.
► Ziehen Sie die vier Schrauben fest an.
Abb.508:
► Stellen Sie die Masseverbindung wieder her.
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
362 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.509:
► Stellen Sie alle Kabelverbindungen auf der GALIL-Karte wieder her.
Sämtliche Kabel haben die gleiche Bezeichnung (Label) wie die Anschlüsse auf der GALIL-
Karte.
► Überprüfen Sie, ob alle Kabel sauber stecken.
Speziell das 100polige Kabel J1 AXIS1-4 muss eine saubere Verbindung haben, da es sonst
zu Problemen kommen kann.
► Falls die Vakuumpumpe und der Schutzbügel zur besseren GALIL-Kartenmontage ausgebaut
wurden: Bauen Sie die Vakuumpumpe und den Schutzbügel wieder ein und stellen die Ver-
bindungen zum SWS wieder her.
► Schieben Sie jetzt, oder vor Montage der Vakuumpumpe, das Einzugsblech wieder in den
SWS und fixieren Sie das Blech mit den beiden Schrauben.
► Komplettieren Sie den SWS.
► Bauen Sie die Seitenverkleidung wieder an.
► Schwenken Sie den Waferlift wieder zurück.
► Bauen Sie das SWS wieder in die Maschine ein.
ð Das SWS sollte ohne Kalibrierung sofort wieder funktionieren.
14 Einstellungen und Testen
14.1 SWS GUI - Service Settings
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 363
14 Einstellungen und Testen
14.1 SWS GUI - Service Settings
Abb.510: SWS-GUI - Service Settings-Menü
► Wählen Sie den Button (1) Service Settings.
► Wählen Sie Motor settings (2) oder Main vacuum control system (3).
Motor Settings
Abb.511: SWS-GUI - Motor Settings
► Wählen Sie die entsprechende Baugruppe (1) um den jeweiligen Motor zu verfahren und den
jeweiligen Status der Achsen oder Endschalter zu sehen.
Für jede Baugruppe stehen die Informationen in den Registerkarten zur Verfügung:
●
Axis status
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Parameters - control unit
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Other
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Statistics