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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 338 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 337
Abb.473:
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Diese Meldung kann man in den I/O-Funktionen der SWS-GUI überprüfen.
12.8.4 Abschließende Arbeiten
► Montieren Sie wieder alle Expansions- und Abdeckbleche auf den Wafer-Stretcher.
► Überprüfen Sie die Funktion der Expansionsbleche und des Expansionsringes mithilfe der
SWS-GUI-Funktionen.
► Fahren Sie die SWS-Software herunter.
► Schalten Sie das SWS aus.
► Trennen Sie das SWS von der Stromversorgung.
► Bauen Sie den SWS in die CA-Maschine und verbinden Sie das SWS mit der Strom- und
Luftversorgung.
ð Das SWS und die CA-Maschine sind wieder einsatzbereit.
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
338 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.1 Ausbau und Tausch BoxPC
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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.1 Ausbau und Tausch BoxPC
13.1.1 Vorbereitende Tätigkeiten
13.1.1.1 Datenbackup
► Erzeugen Sie vom BoxPC eine Recovery-DVD.
► Führen Sie ein Maschinendaten-Backup durch.
► Führen Sie ein Prozessdaten-Backup durch.
► Erzeugen Sie einen Bugreport.
Diese mehrfach erzeugten Daten dienen zur Absicherung gegen einen Datenverlust.
13.1.1.2 SWS vorbereiten
► Fahren Sie den Waferlift in die Magazinentnahmeposition (Press Remove Magazin).
► Fahren Sie die Software des SWS herunter.
► Trennen Sie den SWS vom Stromnetz.
► Bauen Sie den SWS aus der CA-Maschine aus.
Abb.474:
► Klappen Sie den Waferlift zur Seite, so dass ein freier Zugang zum BoxPC besteht (siehe
auch 4.3 "Magazinlift aufschwenken" [}65]).