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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 401 ► Der Die-Ejector muss in der unteren Position sein. Wenn nicht, fahren Sie ihn mit Hilfe der Softwa…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
400 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.1.3 Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrieren
WARNUNG
► Bevor Sie den Wafertisch manuell verschieben, prüfen Sie die Position der Die-Ejec-
tor-Baugruppe.
► Die Die-Ejector-Baugruppe MUSS in der unteren Position sein, andernfalls kann es
beim manuellen Verschieben des Wafertisches zu schweren Schäden kommen.
Die Wafer transfer position ist die Position der Wafer-Hub-Achse, in der die Schiene des Waferti-
sches (Ebene auf Höhe der Wafer-Rahmen-Unterseite) an der oberen Kante der Magazinplatte
ausgerichtet wird.
Diese Position wird verwendet, um die Slot-Positionen für jeden Magazintyp zu berechnen.
Der Magazintyp wird in der GUI definiert und programmiert (neuen Magazintyp definieren).
Alle Dimensionen, wie Slot-Teilung, Position des ersten Slots und so weiter, sind definiert und wer-
den basierend auf der Wafer-Übergabeposition für die Kalkulation der Slot-Positionen verwendet.
Im Moment gibt es kein automatisches Kalibrierungsmenü.
Abb.572:
► Wählen Sie Go to position Button neben Wafer transfer position.
► Der Magazinlift fährt in die ungefähre Wafer-Übergabeposition.
Abb.573:
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 401
► Der Die-Ejector muss in der unteren Position sein.
Wenn nicht, fahren Sie ihn mit Hilfe der Software nach unten.
Abb.574:
► Fahren Sie den Wafertisch manuell in eine Position, in der eine Schiene eine direkte Transfer-
Position zur Magazinplatte hat.
Abb.575:
► Suchen Sie nach einem freien Bereich ohne Stopp-Platten.
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
402 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.576:
(1) Wafertisch-Schiene
(2) Magazinplatte
(3) Metall-Lineal
► Legen Sie ein Metall-Lineal (3) auf die Führungsschiene.
Abb.577:
► Verwenden Sie den Manipulator und verfahren Sie den Waferlift langsam, bis Sie auf dersel-
ben Ebene sind.
WARNUNG
Achten Sie auf die sich bewegende Hub-Achse!
► Bringen Sie niemals Ihre Finger in den Bereich des Lifts.
► Verwenden Sie immer ein Metall-Lineal!
► Verwenden Sie kleine Schritte (z.B. 100µm oder 500µm), um die Wafer-Übergabeposition
einzustellen.
► Wählen Sie Save neben Wafer transfer position, um die Position zu speichern