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8 Flip-Unit 8.4 Kalibrierung – Flip-Unit Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 185 8.4.3 Segment-Offsets einstellen ► Wählen Sie das Menü Service => Die handling calibration . ► Wählen Sie die Registerka…

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8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
184 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
8.4.1 Benötigte Hilfsmittel und Werkzeuge
Abb.237: Benötigte Hilfsmittel und Werkzeuge
1. Gabelschlüssel 5 mm
2. Teflonband
3. Kalibrierpipette oder Pipette 905 oder 906
4. Inbusschlüssel 1,5 mm, gekürzt
8.4.2 Vorbereitung
► Setzen Sie auf beide Segmente eine Kalibrierpipette. Alternativ kann eine sehr spitze Stan-
dardpipette (z.B. 905, 906) verwendet werden.
► Laden Sie einen Wafer auf den Wafertisch.
► Fahren Sie den Tisch in Wafer-Wechselposition.
Abb.238: Teflonband auf Waferfolie
► Kleben Sie ein Stück Teflonband (1) auf die Waferfolie.
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8.4.3 Segment-Offsets einstellen
► Wählen Sie das Menü Service => Die handling calibration.
► Wählen Sie die Registerkarte Segments offset calibration.
Abb.239: Die handling calibration => Segments offset calibration
► Wählen Sie den Button Illumination und stellen Sie die Beleuchtung so ein, dass der Wafe-
rinhalt möglichst kontrastreich erkennbar ist.
► Schließen Sie anschließend das Beleuchtungsfenster.
► Positionieren Sie das Teflonband unter die Waferkamera.
► Betätigen Sie den Button Stamp mark for segment 1 für Segment 1 oder den Button Stamp
mark for segment 2 für Segment 2.
Abb.240: Pipettenabdruck auf Teflonband
Das entsprechende Segment fährt nach unten auf das Teflonband und erzeugt einen Abdruck. Im
Idealfall stimmt der Mittelpunkt des Abdrucks mit dem Kamera-Mittelpunkt (rotes Kreuz in Vision-
darstellung) überein. Falls der Abdruck nicht zu erkennen ist, muss ggf. die Beleuchtung angepasst
werden.
Weicht der Abdruck vom Kamera-Mittelpunkt ab, dann kann der Segment-Offset in X- und Y-Rich-
tung korrigiert werden.
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8.4.4 Segment-Offsets korrigieren
Die Offset Korrektur von Segment 1 und Segment 2 kann über die Parameter Offset segment 1
oder Offset segment 2 (siehe 15.3.2.4 "Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrie-
ren" [}385]).
Alternative:
Abb.241: Einstellmuttern und Konterschrauben für mechanische X- und Y-Einstellung
Alternativ kann die Einstellung mechanisch über die Einstellmuttern (1) und Konterschrauben (2)
an den Segmenten erfolgen.