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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 217 10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS 10.1.1 Beschreibun…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 217
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
10.1.1 Beschreibung der Baugruppe Die-Attach-Unit SWS
Die Baugruppe Die-Attach-Unit SWS wird als Komplettbaugruppe geliefert.
Bestellnummer Gesamtbaugruppe [00384741-xx] Die-Attach-Unit SWS
Nachrüstsatz [00519728-xx] Die-Attach-Unit SWS
Abb.279:
Die Baugruppe Die-Attach-Unit SWS wird komplett mit folgenden montierten Einzelteilen geliefert:
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung
1 00385866-xx Kulissenhubeinheit
2 00385955-xx Bürstenloser Cybermotor-Die-Attach-Unit
3 Ablageplatz für Füllstück Kulisse (Aufbewahrungsposition)
4 03068603-xx Magnetventil
5 00385749-xx Platine AD-DA Rev.0 → Verdrahtet mit Sensoren
6 00379104-xx Platine AD-MOT2 Rev.0 → Verdrahtet mit Motoren
7 03042562-xx M5x16 Befestigungsschraube
8 03042562-xx M5x16 Befestigungsschraube
9 03042562-xx M5x16 Befestigungsschraube (unter dem Magnetventil [03068603‑xx]
→ wegdrehen!)
10 00385562-xx Abwurfbehälter rechts komplett
Die beiden Platinen [00385749-xx] (5) und [00379104-xx] (6) sind schon mit den Sensoren und
Motoren verdrahtet.
Beim Einbau der Die-Attach-Unit SWS müssen somit nur noch die Platinen mit dem SWS verbun-
den werden. Diese Kabel liegen vorbereitet an der Einbauposition bereit.
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
218 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
10.1.2 Ausgangssituation
Abb.280:
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung
1 00386236-xx Kabel Motorstrom MOT-1 für Rotate Die-Attach Connector 2x2
2 00386234-xx Kabel Signale ENCH1 für Rotate Die-Attach Connector RS232
3 00386235-xx Kabel Signale ENCH2 für Flip-Tool-X Connector RS232
4 00386237-xx Kabel Motorstrom MOT-2 für Flip-Tool-X Connector 2x2
5 00386918-xx Kabel → NOT USED
6 00386020-xx Kabel Control IN/OUT an ST1-12 Connector 2x6
7 Anschlussschlauch Vakuum
8 Erdungskabel für Die-Attach-Unit SWS