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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling 408 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.586: ► Verschieben Sie den Wafer-Wechsler manuell zum Wafer-Rahmen. Der Rahmen muss sich im Gre…
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 407
Abb.584:
► Wählen Sie die weiße Schaltfläche und rufen Sie die Motor settings auf.
Abb.585:
► Deaktivieren Sie Power für den Wafer changer.
ð Der Wafer-Wechsler kann manuell bewegt werden.
► Der Greifer ist standardmäßig offen.
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
408 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.586:
► Verschieben Sie den Wafer-Wechsler manuell zum Wafer-Rahmen. Der Rahmen muss sich
im Greifer befinden.
► Wählen Sie Gripper close, um die Klemmfunktion zu aktivieren.
Abb.587:
► Versuchen Sie dann, den Wafer aus dem Magazin auf den Wafertisch zu verschieben, indem
Sie den Wafer-Wechsler rückwärts ziehen.
VORSICHT
Im Setup-Modus kann die Achse des Magazin-Lifts immer noch bewegt werden.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 409
Abb.588:
► Nun kann der Wafertisch manuell eingestellt werden, bis er mit dem Wafer-Magazin ausge-
richtet ist. Beide Seiten des Wafer-Rahmens sollten dieselbe Spaltbreite zur Schiene des Wa-
fertisches haben. Für die Feineinstellung kann der Wafertisch durch Drehen der Spindel oder
des Motors der entsprechenden Achse verschoben werden.
Abb.589:
► Wählen Sie Save in der Zeile Wafer change position, nachdem Sie die Einstellung abge-
schlossen haben.