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7 Die-Ejector 7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus) Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 161 7.5.1.4 Nadel-Ausstecheinheit auf Dichtheit prüfen ► Wählen Sie in der Ansichten…

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7 Die-Ejector
7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
160 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
7.5.1.3 Nadeln einstellen mit Kalibriernormal [03080191-xx]
Hilfsmittel
●
Nadeln als Verschleißteil
●
Kalibriernormal für Die-Ejector mit Bajonettverschluss [03080191-xx]
Mit Hilfe des Kalibriernormals für Die-Ejector werden alle Nadeln in eine definierte Höhe und
gemeinsame Ebene eingestellt.
Abb.203: Kalibriernormal für Die-Ejector mit Bajonettverschluss [03080191-xx]
Vorgehensweise
► Entfernen Sie die schwarze Abdeckkappe von der Nadel-Einheit.
► Stecken Sie alle Nadeln vorsichtig in die Segmente und richten die Nadeln ungefähr in einer
Flucht aus.
► Ziehen Sie die Madenschrauben locker an. Die Nadeln müssen sich noch verschieben lassen.
Abb.204: Kalibriernormal für Die-Ejector
► Legen Sie die Nadel-Einheit in das Kalibriernormal für Die-Ejector(1) ein.
► Legen Sie das Ausstoß-Teil in die Vorrichtung ein. Der mittlere Bolzen der Vorrichtung muss
am Ausstoß-Stößel anliegen und das Bronze-Teil muss leicht federnd an der Radiusnase an-
liegen.
► Drehen Sie das Ausstoß-Teil (Bronze) in die gewünschte Lage.
► Drücken Sie das Bronze-Teil leicht nach unten in die Prismen der Vorrichtung.
► Schieben Sie die Ausstoß-Nadeln in die gewünschten Bohrungen ein (die Gewindestifte müs-
sen gelöst sein).
► Bewegen Sie den zurückfedernden Einstellschlitten in Richtung der Anschlagbolzen und hal-
ten Sie diesen fest.
► Schieben Sie die Ausstoß-Nadeln mit einer Pinzette in Richtung der Einstellungsfläche und
ziehen Sie die Ausstoß-Nadeln mit den Gewindestiften fest (Drehmoment 10Ncm).
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 161
7.5.1.4 Nadel-Ausstecheinheit auf Dichtheit prüfen
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service Settings => Main vacuum
control system (siehe 14.1 "SWS GUI - Service Settings" [}363]).
► Das Main vacuum soll zwischen 740 und 840 mbar betragen.
► Legen Sie eine Folie auf das Ausstechsystem, so dass alle Öffnungen verschlossen sind.
► Schalten Sie nun das Vakuum am Die-Ejector ein.
► Aktivieren Sie Vacuum valve ejection unit opened.
ð Die Folie wird vom Ausstechsystem angesaugt.
ð Das Main vacuum soll möglichst den vorher angezeigten Wert erreichen (d.h. keine Ver-
luste).
Fehlersuche bei Undichtigkeit
► Schalten Sie das Vakuum am Die Ejector ein (Software) und überprüfen Sie mit dem Finger
die Ansaugkraft an der Dichtlippe(2).
► Überprüfen Sie, ob die Vakuumzuleitung knickfrei ist.
Abb.205:
► Führen Sie eine visuelle Überprüfung der Dichtlippe (2) auf Beschädigungen durch und tau-
schen Sie diese ggf. aus (siehe 7.5.1.5 "Austausch der Dichtungseinheit und des O-Ringes an
der Zentriereinheit des Die-Ejectors" [}163]).
► Überprüfen Sie den Magneten (3) auf Fremdkörper.
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Abb.206:
► Überprüfen Sie die schwarze Nadelkappe. Diese muss komplett auf dem Grundkörper des
Ausstechsystems aufsitzen.
(4) Spalt → Vakuumleckage → schlecht
(5) Kein Spalt → gut
Abb.207:
► Überprüfen Sie die geschliffene Dichtfläche und die Vakuumbohrung(1) des Ausstechsys-
tems auf Beschädigungen und Verunreinigungen.