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12 Wafer-Stretcher 12.6 Einbau Wafer-Stretcher 300 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.418: ► Legen Sie den Wafer-Stretcher zu etwa 2/3 auf den X/Y-Tisch. ► Ziehen Sie den Wafer-Wechsler (Greifer) mi…
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 299
Abb.416:
► Ziehen Sie den X/Y-Tisch ganz zur Waferlift-Seite (1).
► Positionieren Sie den Wafer-Wechsler (Greifer) ganz hinten (2).
► Reinigen Sie die Oberfläche der Führungswägen (3).
► Positionieren Sie die Führungswägen vorab in etwa auf die Position der Befestigungsbohrun-
gen im Wafer-Stretcher.
Abb.417:
► Heben Sie nun vorsichtig den Wafer-Stretcher auf den X/Y-Tisch.
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12.6 Einbau Wafer-Stretcher
300 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.418:
► Legen Sie den Wafer-Stretcher zu etwa 2/3 auf den X/Y-Tisch.
► Ziehen Sie den Wafer-Wechsler (Greifer) mittig in den Wafer-Stretcher (1).
► Richten Sie die Führungswägen zu den Befestigungsbohrungen im Wafer-Stretcher aus (2
und 3).
Abb.419:
► Rollen Sie die Kabelkette aus und fixieren Sie diese mit den Kabeln an einer oberen Baugrup-
pe.
Damit wird die Montage des Wafer-Stretcher auf die Führungswägen erleichtert, da nicht über die
aufgerollte Kabelkette gehoben werden muss.
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Abb.420:
► Heben Sie nun den Wafer-Stretcher vorsichtig auf die vier Führungswägen.
► Positionieren Sie die vier Führungswägen so, damit die Befestigungsbohrungen im Wafer-
Stretcher mit den Gewindebohrungen in den Führungswägen fluchten.
► Schrauben Sie alle vier Führungswägen fest.
Nun muss die Verbindung des Wafer-Stretcher mit der Antriebsspindel in X-Richtung wie folgt her-
gestellt werden:
Abb.421:
An der Waferlift-Seite befinden sich die X-Achsen-Spindeln.
► Entfernen Sie die vier Inbusschrauben der Spindelmutter vom Mitnehmerblock.
► Trennen Sie den Mitnehmerblock von der Spindelmutter.
► Befestigen Sie den Mitnehmerblock an den vorgesehenen Gewindebohrungen und ziehen Sie
die beiden Sechskantschrauben handfest an.