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7 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Inhaltsverzeichnis 11.1.1 Übersicht .. 257 11.1.2 Übersicht der Ersatzteile .. 258 11.1.3 Ersatzteile tauschen .. 259 11.1.3.1 Waferaufnahme komplett wechseln .…

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6 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
8.4.4.1 Korrektur in X-Richtung (Segment 1).. 187
8.4.4.2 Korrektur in Y-Richtung (Segment 1).. 188
8.4.4.3 Korrektur in X-Richtung (Segment 2).. 189
8.4.4.4 Korrektur in Y-Richtung (Segment 1).. 190
8.4.5 Übersicht zur Offset Korrektur in X- und Y-Richtung.. 191
9 Wafer-Wechsel-System.. 193
9.1 Magazinlift.. 194
9.1.1 Ersatzteile tauschen.. 194
9.1.1.1 Vorbereitungen.. 194
9.1.1.2 Motor tauschen.. 195
9.1.1.3 Näherungsschalter tauschen.. 196
9.1.1.4 Crashsensor und Slotabfrage.. 197
9.1.1.5 Schalter für Überprüfung ob eine Kassette vorhanden ist.. 198
9.1.1.6 Haubenschalter.. 199
9.1.1.7 Türschalter.. 200
9.1.1.8 Waferlift – Kugelumlaufspindel tauschen.. 201
9.1.2 Elektrik.. 202
9.2 Greifer.. 203
9.2.1 Übersicht der Hauptbaugruppen.. 203
9.2.2 Übersicht der Ersatzteile.. 204
9.2.3 Ersatzteile tauschen.. 206
9.2.3.1 Voraussetzungen/Vorbereitungen.. 206
9.2.3.2 Hilfsmittel.. 206
9.2.4 Näherungsschalter an der Zahnriemenachse tauschen.. 206
9.2.4.1 Position der Näherungsschalter einstellen.. 208
9.2.5 Motor mit Kupplung für Waferhandling tauschen.. 208
9.2.6 Magnetventile tauschen.. 209
9.2.6.1 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 2/4).. 210
9.2.6.2 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 1/3).. 211
9.2.7 Greifer für Stellplatz 1/3 demontieren.. 211
9.2.8 Greifer für Stellplatz 2/4 demontieren.. 212
9.2.9 Zahnriemenachse tauschen.. 213
9.2.9.1 Zahnriemenachse am Lift in der Höhe ausrichten.. 214
9.2.9.2 Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten.. 215
9.2.10 Waferwechsler komplett tauschen.. 215
10 Option Die-Attach-Unit SWS.. 217
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS.. 217
10.1.1 Beschreibung der Baugruppe Die-Attach-Unit SWS.. 217
10.1.2 Ausgangssituation.. 218
10.1.3 Einbau der Option Die-Attach-Unit in das SWS.. 221
10.1.4 Mechanische Ausrichtung des Die-Attach-Segments - Flip-Kopf-Segment 1.. 233
10.1.4.1 Ausrichtung in Y-Richtung.. 234
10.1.4.2 Ausrichtung in Z-Richtung.. 235
10.1.4.3 Haltezylinder der Transfer-X-Achse mechanisch einstellen.. 236
10.1.4.4 Kabel aufbewahren.. 238
10.1.5 Kalibrierung der Die-Attach-Unit.. 240
10.1.5.1 Kalibrierung der Die-Attach-Drehachse.. 240
10.1.5.2 Kalibrierung der Die-Attach Transfer-X-Achse.. 244
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS.. 245
11 Ausbaugruppen.. 257
11.1 Wafer-Aufnahmen.. 257
7Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
11.1.1 Übersicht.. 257
11.1.2 Übersicht der Ersatzteile.. 258
11.1.3 Ersatzteile tauschen.. 259
11.1.3.1 Waferaufnahme komplett wechseln.. 259
11.1.3.2 Waferarretierungsleiste um 180 Grad drehen (Option bei 8" Waferaufnahme).. 260
11.1.3.3 Die Breite der Waferaufnahme einstellen.. 261
11.1.3.4 Mitnehmer auf der Klemmung tauschen.. 262
11.1.3.5 Magnetventil für die Klemmung tauschen.. 263
11.1.3.6 Klemmung komplett tauschen.. 264
11.1.3.7 Reflektions-Lichttaster tauschen.. 265
11.1.3.8 Waferaufname kalibrieren.. 265
11.1.3.9 Einschraubzylinder der Niederhalter tauschen.. 266
11.2 Linear-Dipping-Unit (LDU).. 267
12 Wafer-Stretcher.. 269
12.1 Erklärung Wafer-Stretcher.. 269
12.1.1 SIPLACE SWS Wafer-Stretcher.. 269
12.1.2 Sicherheitshinweise.. 269
12.1.3 Technische Daten.. 270
12.1.4 Bestückgenauigkeit und Leistungswerte.. 270
12.1.5 Beschreibung.. 271
12.2 Detaillierter Ablauf des Prozesses "Wafer-Stretching".. 274
12.3 Vorbereitenden Maßnahmen zum Arbeiten am Wafer-Stretcher.. 282
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher.. 284
12.4.1 Vorbereitungen zum Ausbau Wafer-Stretcher.. 284
12.4.2 Demontage Abdeckblech und Niederhalterbleche.. 284
12.4.3 Demontage an Klemm- und Hubzylinderseite.. 288
12.4.4 Demontage an Wafer-Wechsler-Seite.. 292
12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher.. 297
12.6 Einbau Wafer-Stretcher.. 297
12.6.1 Vorbereitungen zum Einbau Wafer-Stretcher.. 297
12.6.2 Montage des Wafer-Stretchers auf die Führungswägen.. 298
12.6.3 Montage der Verbindungen.. 304
12.6.4 Montage Abdeckblech und Niederhaltebleche.. 306
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen.. 308
12.7.1 Dehnfaktor mechanisch einstellen.. 308
12.7.1.1 Vorbereitungen.. 308
12.7.1.2 Einstellungen.. 310
12.7.2 Framebreite bei 8" Waferaufnahme einstellen.. 310
12.7.2.1 Vorbereitungen.. 310
12.7.2.2 Einstellungen.. 312
12.7.3 Waferaufnahme umbauen von 8“-Wafer-tretcher auf 12“-Wafer-Stretcher.. 313
12.7.3.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer-Expander.. 313
12.7.3.2 Vorbereitungen.. 314
12.7.3.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme.. 315
12.7.3.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8.. 323
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19.. 324
12.8.1 Generelle Information zum Durchhang-Sensor.. 324
12.8.1.1 Aufbau der Baugruppe Durchhang-Sensor.. 324
12.8.1.2 Funktion der Baugruppe Durchhang-Sensor.. 325
12.8.1.3 Erklärung der Lichtintensität in Verbindung mit dem Foliendurchhang.. 326
12.8.2 Mechanisches Einstellen des Durchhang-Sensor IN19.. 327
12.8.2.1 Benötigte Materialien und Hilfsmittel.. 327
8 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
12.8.2.2 Vorbereitende Tätigkeiten.. 328
12.8.2.3 Justage (Ausrichten) des Durchhang-Sensors.. 328
12.8.3 Einstellen des Schaltschwellenwerts.. 334
12.8.3.1 Überprüfen der Funktion "Schaltschwelle".. 336
12.8.4 Abschließende Arbeiten.. 337
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung.. 339
13.1 Ausbau und Tausch BoxPC.. 339
13.1.1 Vorbereitende Tätigkeiten.. 339
13.1.1.1 Datenbackup.. 339
13.1.1.2 SWS vorbereiten.. 339
13.1.2 Vorbereitung zum Ausbau des BoxPC.. 340
13.1.2.1 Kabelverbindungen auf der BoxPC-Rückseite.. 342
13.1.3 Entnahme des BoxPC.. 345
13.1.4 Einbau neuer BoxPC.. 346
13.1.4.1 Anschluss neuer BoxPC.. 347
13.1.4.2 Abschließende Arbeiten nach Einbau.. 347
13.2 GALIL-Karten im BoxPC.. 348
13.2.1 Generelles zu GALIL-Karten.. 348
13.2.2 Austausch der GALIL-Karte.. 350
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen.. 353
13.3.1 Ausbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen.. 354
13.3.2 GALIL AMP-19540 im Detail.. 358
13.3.3 Einbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen.. 360
14 Einstellungen und Testen.. 363
14.1 SWS GUI - Service Settings.. 363
14.2 Manuelle Einstellungen.. 364
14.3 Kamera Kalibrierung.. 365
15 Kalibrierung.. 367
15.1 Allgemeines.. 367
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software).. 367
15.2.1 Vorbedingung.. 367
15.2.2 Nachrüstkonzept für den Setup-Modus.. 368
15.2.3 Vorbereitung der Software.. 369
15.2.4 Kabel an der Montageplatte für Setup-Modus umstecken.. 370
15.2.5 Regeln für den Setup-Modus – Sicherheitsrelevantes Thema!.. 374
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit.. 374
15.3.1 Vorbereitung - Haltezylinder der Z-Achse einstellen.. 374
15.3.1.1 Unterschiedliche Verriegelungssysteme für den Haltezylinder.. 376
15.3.1.2 Haltezylinder der Z-Achse einstellen.. 377
15.3.2 Kalibrierung des SWS - Flip-Kopf.. 379
15.3.2.1 Kalibrierungsmenü aufrufen - Flip-Kopf.. 379
15.3.2.2 Kalibrierung - Flip-Kopf-Drehachse.. 379
15.3.2.3 Kalibrierung - Flip-Kopf-Z-Achse.. 381
15.3.2.4 Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrieren.. 385
15.3.2.5 Kalibrierung - Die-Ejector-Nadel.. 391
15.3.2.6 Kalibrierung - Kalibrierstation (nicht am SWS verwendet).. 395
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling.. 396
15.4.1 Waferlift kalibrieren.. 396
15.4.1.1 Endpositionen des Magazinlifts kalibrieren.. 396