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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch 82 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.69: ► Ziehen Sie die vier Schrauben (2x Oberseite und 2x Unterseite) leicht an, so dass sich die Kupplungsplatte noch b…
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 81
Abb.67:
► Heben Sie den Motor vorsichtig an und schieben Sie die komplette Spindeleinheit über die
Grundplattenkante.
Heben Sie den Motor dabei nur soweit an, damit die Kupplungsplatte über die Grundplatten-
kante schleift. Somit wird die Welle möglichst wenig verbogen.
Abb.68:
► Achten Sie darauf, dass beim Einschieben der Spindeleinheit das hintere Spindellager leicht
in die Lagerschale gleitet!
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
82 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.69:
► Ziehen Sie die vier Schrauben (2x Oberseite und 2x Unterseite) leicht an, so dass sich die
Kupplungsplatte noch bewegen kann. Sichern Sie die Schrauben mit Loctite 243.
Abb.70:
► Ziehen Sie die komplette Wafertisch-Einheit manuell in Richtung Y-Motor.
ð Nun richtet sich die Spindel mit der Kupplungsplatte selbst aus.
► Ziehen Sie die vier Befestigungsschrauben der Kupplungseinheit (2x Oberseite und 2x Unter-
seite) fest.
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5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 83
Abb.71:
Abb.72:
► Schließen Sie die Y-Motorkabel an. Achten Sie dabei auf die orangen Adern SHL und HB.
Das eventuell dickere orange Kabel ist SHL und wird zur Schirmung verwendet!
► Montieren Sie das Abdeckblech.