00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第200页
9 Wafer-Wechsel-System 9.1 Magazinlift 200 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 9.1.1.7 Türschalter Der Türschalter überprüft, ob die Versorgungstüre des Waferlifts geschlossen ist. Der Türschalter befinde…
9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 199
9.1.1.6 Haubenschalter
Der Haubenschalter überprüft, ob die Haube des Waferlifts geschlossen ist. Der Haubenschalter
befindet sich an der rechten Seite des Waferlifts.
Abb.256: Haubenschalter am Magazinlift
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste, den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
ð Die Anzeige leuchtet:
– DI27 Wafer lift hood: closed
Die Anschlusskabel sind zur Schützsicherheitskombination verlegt und dort angeschlossen (siehe
9.1.2 "Elektrik" [}202]).
9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
200 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9.1.1.7 Türschalter
Der Türschalter überprüft, ob die Versorgungstüre des Waferlifts geschlossen ist. Der Türschalter
befindet sich an der linken Seite des Waferlifts.
Abb.257: Türschalter am Magazinlift
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste, den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► → Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
ð Die Anzeige leuchtet:
– DI27 Wafer lift hood: closed
Die Anschlusskabel sind zur Schützsicherheitskombination verlegt und dort angeschlossen (siehe
9.1.2 "Elektrik" [}202]).
9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 201
9.1.1.8 Waferlift – Kugelumlaufspindel tauschen
WARNUNG
Nur erfahrene Servicetechniker der Fa. ASM Assembly Systems GmbH & Co.KG
Das Tauschen der Kugelumlaufspindel und die dazu notwendigen Einstellungen dürfen nur
erfahrene Servicetechniker der Fa. ASM Assembly Systems GmbH & Co.KG durchführen.
Eine unsachgemäße Montage kann zu Beschädigungen am SWS führen.
Abb.258: Waferlift - Kugelumlaufspindel tauschen
► Entfernen Sie die beiden Schrauben (1).
► Entfernen Sie die sechzehn Schrauben (2) und entnehmen Sie die Einheit. Die Einheit ist auf
Passstifte montiert.
► Entfernen Sie die Schraube der Kupplung (3).
► Entfernen Sie die beiden Schrauben am Festlagerteil (4).
► Entfernen Sie beide Schrauben am oberen Spindellager (5) und entnehmen Sie die Kugelum-
laufspindel.
► Ziehen Sie die Klemmschraube der Kupplung mit einem Drehmoment von 1,0 Nm fest.