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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 333 Abb.465: ● An der Auswerteeinheit ist nun ein Lichtintensitätswert (in unserem Beispiel 769 rot) abzule- …

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In den folgenden Schritten wird nun der Empfänger R (2) und der Sender S (1) so ausgerichtet,
dass die größtmögliche Lichtintensität am Empfänger R ankommt. Dies zeigt sich in einem größt-
möglichen Wert (Rot) an der Auswerteeinheit (grüner Lichtstrahl (4)).
Der Sender S wurde schon mithilfe der Fühlerlehre in die beste Ausgangsposition gebracht.
Die Ausrichtung erfolgt nun durch Drehen des Empfänger R zur Seite hin, bis an der Auswerteein-
heit der höchste Wert abzulesen ist. Gehen Sie dazu wie folgt vor:
Abb.464:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (1) des Empfänger R.
► Drehen Sie den Empfänger R soweit in um die Drehachse (2), bis der Lichtstrahl vom Sender
S maximal erreicht wird.
► Eine optimale Ausrichtung zwischen Empfänger R und Sender S zeigt sich an der größtmögli-
chen Lichtintensität am Empfänger R (= größtmöglicher Wert (Rot) an der Auswerteeinheit).
► Drehen Sie den Empfänger so lange, bis Sie den maximalen Wert erreicht haben und ziehen
Sie die Befestigungsschraube (1) an.
– Beim Anziehen der Befestigungsschraube des Empfängers R wird sich der Wert an der
Anzeigeeinheit verkleinern, da aufgrund des Auflagestiftes der Empfänger R nach unten
gedrückt wird und dadurch sich die Ausrichtung verändert.
– Eine 10%ige Verschlechterung zum maximalen Lichtintensitätswert ist akzeptabel.
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Abb.465:
●
An der Auswerteeinheit ist nun ein Lichtintensitätswert (in unserem Beispiel 769 rot) abzule-
sen.
●
Der Schaltschwellen-Wert ist noch aus einer alten Kalibrierung (in unserem Beispiel 210
grün).
●
Wichtig ist hier, dass generell ein Lichtintensitätswert von >500 erreicht werden muss!
Die optimale Flucht zwischen Sender S und Empfänger R ist jetzt eingestellt. Es kommt das maxi-
mal mögliche Licht = maximale Lichtintensität am Empfänger R an.
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12.8.3 Einstellen des Schaltschwellenwerts
Im Folgenden wird der Schaltschwellenwert so eingestellt, so dass ein sicheres Wechseln des Wa-
fers mit durchhängender Waferfolie gewährleistet wird.
Der minimal erlaubten Abstand wird mit Hilfe von 1mm-Blechen (oder alternativ mit gefaltetem Pa-
pier) simuliert.
Dann wird ein demontiertes Expansionsblech darübergelegt. Dieses Blech beeinflusst den Licht-
strahl und minimiert somit die ankommende Lichtintensität am Empfänger R. Dieser Wert dient so-
mit als Schaltschwellen-Wert in der Auswerteeinheit.
Abb.466:
► Positionieren Sie die 1mm-Bleche parallel zum Lichtstrahl.
► Alternativ, wenn kein Blech zur Verfügung steht, können Sie auch ein Papier auf die Dicke
von 1mm falten.
► Gegebenenfalls, je nach Papierstabilität, können Sie das Papier auch auf 1,2mm falten, da
nach dem Auflegen des relativ schweren Expansionsbleches das Papier in der Dicke kompri-
miert werden wird.
► Legen Sie dann die beiden gefalteten Papiere, wie die Bleche, parallel zum Lichtstrahl auf
den Expansionsring.
Abb.467:
► Legen Sie nun das Expansionsblech auf die Bleche (oder Papiere).
Beachten Sie dabei folgende Punkte:
– Die beiden Bleche müssen sauber aufliegen.
– Das Expansionsblech muss komplett auf den beiden Blechen aufliegen.
– Das Expansionsblech darf nirgends anders aufliegen.