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9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 215 9.2.9.2 Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten Abb.277: Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten ► Fahren …
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
214 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.275: Zahnriemenachse komplett vom Rahmen abnehmen
► Entfernen Sie die vier (2x2) Befestigungsschrauben (3) der Zahnriemenachse und nehmen
Sie die Zahnriemenachse ab.
► Montieren Sie die neue Zahnriemenachse (4) mit der kompletten Zahnriemenachse an die ur-
sprüngliche Position.
► Montieren Sie den Greifer (1).
9.2.9.1 Zahnriemenachse am Lift in der Höhe ausrichten
Abb.276: Zahnriemenachse am Lift in der Höhe ausrichten
► Bewegen Sie den Greifer in Richtung Waferlift und fahren Sie ihn nach unten.
► Legen Sie die Hilfsleiste (3) ein (z. B. ein stabiler Metallstreifen).
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (2) und justieren Sie diese mit dem Gewindestift (1)
in der Höhe.
► Die Hilfsleiste (3) muss bündig auf der Waferaufnahmeleiste liegen. Ziehen Sie dann die
Befestigungsschraube (2) fest.
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9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 215
9.2.9.2 Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten
Abb.277: Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten
► Fahren Sie den Greifer in die "Home-Position" und bewegen Sie diesen dann nach unten.
► Legen Sie die Hilfsleiste (1) ein (z.B. ein stabiler Metallstreifen). Die Hilfsleiste muss bündig
auf der Waferaufnahmeleiste liegen.
► Entfernen Sie die Schraube (2).
► Justieren Sie mit dem Gewindestift (3) die Höhe.
► Ziehen Sie die Schraube fest.
9.2.10 Waferwechsler komplett tauschen
Abb.278: Waferwechsler komplett tauschen
► Entfernen Sie die Abdeckbleche.
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (1).
► Entfernen Sie die Schrauben (2) an der Befestigungsplatte (Halterung zwischen Flip-Unit und
Waferwechsler, von unten zugängig).
► Klemmen Sie die elektrischen Anschlusskabel ab.
► Stecken Sie die pneumatischen Anschlüsse ab.
► Wechseln Sie die komplette Wafer-Wechsler-Einheit aus.
► Nehmen Sie die folgenden Einstellungen vor:
