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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS 232 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.304: Kabelführung am SWS für Stellplatz 2 und 4. ► Ziehen Sie die Sicherungsschrauben …

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10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 231
Abb.302:
► Schließen Sie die Kabel der Die-Attach-Unit entsprechend der Abbildungen an.
1. Strom- und Encoder-Kabel für den Transfer-X-Motor
2. Strom- und Encoder-Kabel für die Drehachse des Die-Attach-Segments!
HINWEIS
Im aktuellsten SWS ist das Gehäuse des Encoder-Kabels um 180° gedreht, um eine kor-
rekte Verbindung zu gewährleisten. Wenn es Probleme mit dem Eintritt des Kabels geben
sollte, öffnen Sie einfach das Gehäuse und drehen Sie es um 180°. Die Lage des RS232-
Anschlusses selbst bleibt in der ursprünglichen Orientierung.
Abb.303:
1. Stromkabel für Transfer-X-Motor (MOT-2)
2. Encoder-Kabel für Transfer-X-Motor (ENCH2)
3. Encoder-Kabel für Die-Attach-Segment (ENCH1)
4. Stromkabel für Die-Attach-Segment (MOT-1)
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232 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.304: Kabelführung am SWS für Stellplatz 2 und 4.
► Ziehen Sie die Sicherungsschrauben der Encoder-Kabel fest (ENC-DA).
► Führen Sie die Kabel entsprechend der Abbildung und sichern Sie diese mit Kabelbindern.
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10.1.4 Mechanische Ausrichtung des Die-Attach-Segments - Flip-Kopf-Segment 1
► Setzen Sie am Die-Attach-Segment und am Flip-Kopf-Segment 1 Pipetten mit einer scharfen
Spitze auf (z.B. Pipette 906).
► Um das Die-Attach- und das Flip-Kopf-Segment auszurichten, wählen Sie in der GUI die
Ansicht Process.
► Laden Sie einen Wafer auf den Tisch.
Abb.305:
► Wählen Sie das Menü Die handling parameters.
Abb.306:
► Bewegen Sie Segment 1 mit Hilfe der Pfeiltasten und der richtigen Schrittgröße dicht an die
Transferposition.