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18 Anhang 18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 501 OUT1 = Relais K4 100ms Ein/Ausschalten (Not-Aus wird zurücksetzt) OUT2 = Ventil Haupt-Pressluft (Ausgang = 1, Pressluft ist…
18 Anhang
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
500 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Mit den drei integrierten Vakuumsensoren "40PC015V2A" mit Analogausgang 0 bis 4,8V wird die
Abfrage für Chip-vorhanden / Chip nicht vorhanden kontrolliert.
Die Höhenkontrolle für die zwei Flip-Tools wird über die Hall-Sensoren "HAL815K" mit Analogaus-
gang 0,5 bis 4,75V über die Eingänge AI4 und AI5 kontrolliert.
Über Messpunkte können die acht analogen Eingänge AI1, AI2…..AI8 gegen GND kontrolliert werden.
Die Beleuchtungssteuerung (LED) für die Waferkamera erfolgt über zwei Flachbandstecker "STA1"
und "STA2".
Die LED-Ansteuerung der zwei Platinen "Dunkelfeld" und "Hellfeld" wird mit jeweils vier Analog-
Ausgängen "ILEDx" mittels Stromregelung versorgt.
Beim Einbau einer Dip-Unit (= Option) erfolgt die Kommunikation mit zwei IN/OUT mittels Hand-
check.
Die Versorgung und Kontrolle für den optionalen Einbau eines BE-Sensors (= optische Bauteiler-
kennung in der Toolbewegung Pick-Z ) erfolgt über den Stecker "ST-DS".
Der Sensor wird mit 5VDC versorgt.
Die Kontrolle erfolgt mit den Signalen "Teach" und "Sens" (= 5V/NPN-Signale).
Das "Sens" Signal wird an die Motorsteuerung "Latch-input" durchgereicht und in Verbindung mit
dem Encoderwert die "Chip-vorhanden-Kontrolle" ausgewertet.
Die zusätzlichen Klemmen X2 bis X15 sind Direktverbindungen zum Stecker X13 für IO-Handling
von der Galil-Steuerung.
18.4.5 Select-Liste DMC-IN/OUT
DMC1886(66)
IN1 = Not-Aus vom SWS (Signal = 1 Not-Aus nicht gedrückt, Signal = 0 Not-Aus gedrückt)
IN2 = Kontrollsensor Haupt-Druckluft (Signal = 1, Druckluft vorhanden, größer 3,5bar)
IN3 = Reserve X16 (Rev.0 = Main-Vakuum-Kontrolle)
IN4 = Latch-Input-Hight-Control (Ausgangssignal von der USB-IO-Platine)
IN5 = Zylinderabfrage Die-Ejector Z-Hub in unterer Position (Signal = 1)
IN6 = Zylinderabfrage Die-Ejector Z-Hub in oberer Position (Signal = 1)
IN7 = (nur für SWS8") Zylinderabfrage Die-Ejector Mitnehmer-Pin ist eingefahren (Signal =1)
IN8 = (nur für SWS8") Zylinderabfrage Die-Ejector Mitnehmer-Pin ist ausgefahren (Signal =1)
IN9 = Kontrollsensor für Wafer außerhalb der zentrierten Tischposition (Signal = 1)
IN10 = Latch-Input optischer Bauteil-Sensor (1 = Lichtschranke frei, 0 = Lichtschranke unterbro-
chen) und Latch-Input-Hight-Control (Ausgangssignal von der USB-IO-Platine)
IN11 = Sensor für die Erkennung Waferaufnahme 12" Signal = 1, Waferaufnahme 8", Signal = 0
IN12 = Zylinderabfrage Wafer-Klemmung ist geöffnet (Signal = 1)
IN13 = Zylinderabfrage Wafer-Klemmung ist geschlossen (Signal = 1)
IN14 = Kontrollsensor für Wafer in korrekter (zentrierter) Tischposition (Signal = 1)
IN15 = Hauptschütze K1/K2 sind eingeschaltet und 48VDC für Motoren sind vorhanden (Signal =1)
IN16 = Not-Aus-Signal generell (Signal = 1 Not-Aus nicht gedrückt, Signal = 0 Not-Aus gedrückt)
*** Erkennung des Not-Aus-Signals von der SIPLACE (Signal IN16 = 0 und Signal IN1 = 1) **
IN17 = Pneumatik-Wafer-Expander ist geöffnet (Signal = 1) *** Expander = Optional ***
IN18 = Pneumatik-Wafer-Expander ist geschlossen (Signal = 1) (Identify-Expander = IN17 oder
IN18=1)
IN19 = (nur SWS8") Kontrollsensor für Die-Ejector in Vorschub Arbeitsposition (Signal = 1)
IN20 = Reserve X16
IN21 = Reserve X16
IN22 = Reserve X16
IN24 = Schlüsselschalter (Signal = 1, Schlüsselschalter ist aktiviert für Servicefunktion
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 501
OUT1 = Relais K4 100ms Ein/Ausschalten (Not-Aus wird zurücksetzt)
OUT2 = Ventil Haupt-Pressluft (Ausgang = 1, Pressluft ist eingeschaltet)
OUT3 = Vakuumpumpe (Ausgang =1, Vakuum ist eingeschaltet über Leistungsrelais OK7)
OUT4 = Ventil für Zylinder Wafer-Expander öffnen *** Expander = Optional***
OUT5 = Ventil für Zylinder Wafer-Expander schließen
OUT6 = Reserve X11, X16
OUT7 = Ventil für Zylinder Die-Ejector Z-Hub (Ausgang = 1, Z-Hub nach oben)
OUT8 = Ventil für Zylinder Die-Ejector Mitnehmer-Pin (Ausgang = 1, Mitnehmer-Pin ist Ausgefah-
ren)
OUT9 = Ventil für Zylinder Wafer-Klemmung (Ausgang = 1, Klemmung ist geschlossen)
OUT10 = Vakuumventil für Die-Ejector (Ansaugung Waferfolie) (Ausgang = 1, Vakuum = ein)
OUT11 = Reserve X13, X16
OUT12 = Enable - optischer Bauteil-Sensor (1= Enable-Laser) *** Optional für kleine Chip ***
OUT13 = Ventil für Rückhaltezylinder Flip-Tool-Z (Ausgang über K1 = 1, Zylinder ist unten)
OUT14 = Ventil für Klemmzylinder Flip-Tool-X (Ausgang über K2 = 1, Klemmung ist offen)
OUT15 = Reserve X16
OUT16 = Relais K4, Anwesenheitssignal für SIPLACE (Ausgang = 1, CSM ist anwesend)
DMC1826
IN1.1 = Kontrollsensor für Waferabfrage in der Kassette (Signal = 1, Wafer ist present)
IN1.2 = Kontrolle Waferheizung (Signal = 1)
IN1.3 = Türschalter Waferlift (Signal = 1, Türe ist geschlossen)
IN1.4 = 2x Schalter (8", 12") für Waferkassette (Signal = 1, Kassette in Waferlift vorhanden)
IN1.5 = Sensor für Wafergreifer in oberer Position (Signal = 1)
IN1.6 = Sensor für Wafergreifer in unterer Position (Signal = 1)
IN1.7 = Sensor für Wafergreifer geöffnet (Signal = 1)
IN1.8 = Sensor für Wafergreifer geschlossen, Wafer ist in Greifer (Signal = 1)
*** IN1.7 und IN1.8 beide Signale sind 0, Wafergreifer ist geschlossen ohne Wafer ***
OUT1.1 = Reserve
OUT1.2 = Ventil Wafergreifer für oben/unten Position (Ausgang = 1, = unten Position)
OUT1.3 = Ventil Wafergreifer für offen/geschlossen (Ausgang = 1, = Greifer geschlossen)
OUT1.4 = Reserve
OUT1.5 = Waferheizung Sicherheits-Zeitrelais (on/off 300ms) ** Waferheizung = optional **
OUT1.6 = Waferheizung-1 (Heizspirale 1000W)
OUT1.7 = Waferheizung-2 (Heizspirale 1000W)
OUT1.8 = Querstromlüfter Waferheizung
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
502 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.4.6 Select-Liste USB-IO
DI1 = Camera Flash-Output (Signal = 1, Flash für LED-Beleuchtung Wafer)
DI2 = Reserve
DI3 = Erkennung für Dip-Modul (Signal = 1, Dip-Modul ist angesteckt und OK)
DI4 = Dip-Module Ready (Signal = 0, Dip-Modul in Arbeit, Signal = 1, Dip-Modul-ready)
DI5 = Kontrollsensor rechte Bad-Die-Box (Signal = 1, rechte Bad-Die-Box ist vorhanden)
DI6 = Kontrollsensor linke Bad-Die-Box (Signal = 1, linke Bad-Die-Box ist vorhanden)
DI7 = Erkennung für Die-Attach-Unit = Option (Signal = 1, Die-Attach-Unit ist angesteckt)
DI8 = Error-Abfrage für den Encoder Flip-Rotate (Signal = 1, Encoder = OK)
DO1 = Pressluftventil für Flip-Tool-1 (Ausgang = 1, Pressluft ist durchgeschaltet)
DO2 = Vakuumventil für Flip-Tool-1 (Ausgang = 1, Vakuum ist durchgeschaltet)
DO3 = Pressluftventil für Flip-Tool-2 (Ausgang = 1, Pressluft ist durchgeschaltet)
DO4 = Vakuumventil für Flip-Tool-2 (Ausgang = 1, Vakuum ist durchgeschaltet)
DO5 = Pressluftventil für Die-Attach-Tool (Ausgang = 1, Pressluft ist durchgeschaltet)
DO6 = Vakuumventil für Die-Attach-Tool (Ausgang = 1, Vakuum ist durchgeschaltet)
DO7 = Initialisierungssignal für Dip-Unit (Ausgang = 1, Start für Initialisierung)
DO8 = Startsignal für Dip-Unit (Ausgang = 1, Startfreigabe für einen Ablauf)
AI1 = Vakuumsensor für Flp-Tool-1
AI2 = Vakuumsensor für Flp-Tool-2
AI3 = Vakuumsensor für Main-Vakuum
AI6 = Vakuumsensor (Extern) für Die-Attach-Unit
Das Analog-Ausgangssignal ist abhängig von der Vakuumstärke und der Tool-Bohrung.
Je kleiner die Vakuumstärke und je größer die Tool-Bohrung ist, desto kleiner ist die Ausgangs-
spannung des Vakuumsensors.
Ist ein Chip am Tool angesaugt, ändert sich die Ausgangsspannung um ca. 50 bis 200mV (bei
kleiner Tool-Bohrung) und um ca. 200‑1000mV (bei großer Tool-Bohrung).
AI4 = Höhenkontrolle für Flip-Tool-1 (Analogsignal 3,5 bis 4V = Ausgangssignal)
AI5 = Höhenkontrolle für Flip-Tool-2 (Analogsignal 3,5 bis 4V = Ausgangssignal)
Eine Änderung von kleiner werdender Spannung um <100mV → Erkennung, dass das Tool am
Wafer aufgesetzt hat.
AI7 = Reserve STA3
AI8 = Reserve STA3
ILED1 = LED-Beleuchtung "Hellfeld" 4x Eckenausleuchtung
ILED2 = LED-Beleuchtung "Hellfeld" 4x Linienausleuchtung (außen)
ILED3 = LED-Beleuchtung "Hellfeld" Mitteausleuchtung
ILED4 = Reserve
ILED5 = LED-Beleuchtung in Kreis "Dunkelfeld" 2x Eckenausleuchtung (hinten)
ILED6 = LED-Beleuchtung in Kreis "Dunkelfeld" 2x Eckenausleuchtung (vorne)
ILED7 = LED-Beleuchtung in Kreis "Dunkelfeld" 2x Linienausleuchtung (rechts, links)
ILED8 = LED-Beleuchtung in Kreis "Dunkelfeld" 2x Linienausleuchtung (vorne, hinten)
Die Beleuchtung wird über Stromregelung (Strom-Ausgangssignal ILED1, ILED2…ILED8) ange-
steuert.
Der maximal permanent anliegende Strom ist per Hardware 60mA, was jedoch per Software auf
30mA limitiert ist.
Für die Flash-Funktion ist der maximale Strom 120mA. Die Zeit wird per Software limitiert.