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16 Software 16.2 Installation des Betriebssystems 464 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.708: ► Wählen Sie im Verzeichnis, die wiederherzustellenden Produktdaten aus und drücken Sie „ Accept “. Abb.…

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16.2 Installation des Betriebssystems
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 463
16.2.3.4 Wiederherstellen der Prozessdaten per GUI
► Stecken Sie den USB Stick, auf dem die Prozessdaten gesichert sind, am USB Anschluss
hinter der SWS Tastatur an.
Abb.706:
► Um die Prozessdaten, d.h. alle auf dem SWS angelegten Produkte, wieder herzustellen,
wechseln Sie ins Service Menü und drücken Sie die Taste „Restore product data“.
Abb.707:
► Wählen Sie „USB flash drive“ und wählen Sie das Verzeichnis aus, in dem die Daten abge-
legt sind (s.u.).
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464 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.708:
► Wählen Sie im Verzeichnis, die wiederherzustellenden Produktdaten aus und drücken Sie
„Accept“.
Abb.709:
Darauf öffnet sich das nachfolgende Fenster.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 465
Abb.710:
► Drücken Sie die „Start“ Taste, um die Wiederherstellung zu starten.
HINWEIS
Im Gegensatz zu den Kalibrierdaten können auch Produktdaten geladen werden, die nicht
auf dem aktuellen SWS erzeugt wurden. Beachten Sie, dass bei unterschiedlicher Konfigu-
ration des Ursprungs SWS, Änderungen in den Produktdaten notwendig sind (z.B. bei
unterschiedlichen Wafertischkonfigurationen 8“/12“). Dann müssen Frame- und Magazin-
größen angepasst werden.
16.2.3.5 Wiederherstellen der Kalibrierdaten per GUI
► Stecken Sie den USB Stick, auf dem die Kalibrierdaten gesichert sind, am USB Anschluss
hinter der SWS Tastatur an.
Abb.711:
► Um die Kalibrierdaten wieder herzustellen, wechseln Sie ins Service Menü und drücken Sie
die Taste „Restore machine data“.
► Wählen Sie „USB flash drive“ und wählen Sie das Verzeichnis aus, in dem die Daten abge-
legt sind (s.u.).