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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher 296 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.411: ► Seien Sie vorsichtig beim Verschieben des Wafer-Stretchers in Y-Richtung. Die Kabel der ausgerollten Ener…
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 295
Abb.409:
► Ziehen Sie den Wafer-Wechsler in die Mitte des Wafer-Stretchers (1).
► Entfernen Sie die jeweils vier Befestigungsschrauben (2) von den darunterliegenden Füh-
rungswägen.
Abb.410:
► Heben Sie nun vorsichtig den Wafer-Stretcher mit der Blechkante und dem blauen Ventil (1)
über die Energiekette (3)!
Achten Sie auch darauf, dass der Wafer-Stretcher beim Herausheben nirgends an den obe-
ren Baugruppen (2) anstößt.
Tipp: Rollen Sie die Energiekette aus, dann muss der Wafer-Stretcher nicht so weit angeho-
ben werden.
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
296 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.411:
► Seien Sie vorsichtig beim Verschieben des Wafer-Stretchers in Y-Richtung. Die Kabel der
ausgerollten Energiekette können sich an den oberen Baugruppen verfangen.
Abb.412:
► Schieben Sie den Wafer-Wechsler in eine hintere Position (1) und fädeln Sie den Wafer-Stret-
cher vorsichtig unten durch den Rahmen aus (2).
12 Wafer-Stretcher
12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 297
12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher
Abb.413:
Folgende Bauteile des Wafer-Stretcher wurden ausgebaut:
1. Rahmen Wafer-Stretcher (hier: 12")
2. Abdeckblech Platine
3. Abdeckblech Klemm- und Hubzylinder
4. Niederhalter-Blech links
5. Niederhalter-Blech rechts
Zum Einbau werden die obigen Teile benötigt. Alle notwendigen Schrauben und Befestigungsma-
terialien werden mitgeliefert.
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Der Einbau wird am Beispiel eines 12”-Wafer-Stretchers gezeigt. Die Vorgehensweise für 8“-
Wafer-Stretcher ist identisch.
Falls es sich beim Einbau des Wafer-Stretchers um eine Nachrüstung handelt, lesen Sie auch das
Kapitel 12.4 "Ausbau Wafer-Stretcher" [}284]. Beim Einbau wird auf identische Arbeitsschritte ver-
wiesen. Damit klappt der Einbau vom Verständnis her besser.
12.6.1 Vorbereitungen zum Einbau Wafer-Stretcher
Damit der Wafer-Stretcher eingebaut werden kann, müssen folgende Bedingungen erfüllt sein:
●
Ein Wafertisch wurde ausgebaut.
●
Ein anderer Wafer-Stretcher wurde ausgebaut.
Bitte vergewissern Sie sich, dass der Die-Ejector in einer niedrigen Position steht.
Eine Übersicht der Teile des Wafer-Stretchers finden Sie im Abschnitt 12.5 "Teileübersicht Wafer-
Stretcher" [}297].