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7 Die-Ejector 7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position 156 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.196: ► Drehen Sie an der Exzenterschraube (7) , bis im Livebild Waferkamera der Punkt d…

7 Die-Ejector

7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 155

Abb.194:

► Drehen Sie an der Exzenterwelle (5), bis im Livebild Waferkamera der Punkt der Nadelspitze

unter der roten Linie liegt. → Justage in X-Position

Abb.195:

► Entfernen Sie die zwei Arretierungsschrauben (6) auf der Exzenterwelle, damit die Grundplat-

te in Y‑Richtung bewegt werden kann. Die hintere Arretierungsschraube(6) kann nur erreicht

werden, wenn zuvor der Wafertisch manuell ganz in Richtung Waferlift geschoben wurde.

► Die Exzenterschraube(7) dient zum Einstellen der Grundplatte in Y-Richtung (Inbus 4mm).

7 Die-Ejector

7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position

156 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Abb.196:

► Drehen Sie an der Exzenterschraube (7), bis im Livebild Waferkamera der Punkt der Nadel-

spitze exakt im Fadenkreuz der roten Linien liegt. → Justage in Y-Position

Abb.197:

► Die Nadelspitze (heller Punkt im Zentrum) liegt nun direkt im Kameramittelpunkt (rotes Faden-

kreuz).

► Ziehen Sie nun die Arretierschrauben der Exzenterwelle (6) wieder an (Y-Richtung).

► Kontrollieren Sie im Livebild der Kamera, ob die Nadelspitze immer noch im Kameramittel-

punkt liegt.

► Justieren Sie so oft nach, bis diese Position bleibt und die Arretierschrauben der Exzenter-

welle fest sind.

► Ziehen Sie nun die vier Befestigungsschrauben der Grundplatte (1 und 2) vorsichtig an. Be-

obachten Sie dabei permanent im Livebild der Waferkamera die Position der Nadelspitze zum

Kameramittelpunkt.

HINWEIS

Falls Sie hier einen Trend beim Klemmen der Befestigungsschrauben feststellen können,

um wieviel sich immer der Nadelmittelpunkt in X-Richtung verschiebt, so können Sie diese

Abweichung in die entgegengesetzte Richtung mit der Exzenterwelle einstellen, so dass

nach vollständigem Anziehen der vier Befestigungsschrauben die Nadelspitze wieder im

Kameramittelpunkt liegt.

► Eventuell müssen Sie mehrfach nachjustieren.

ð Wenn alle vier Befestigungsschrauben (1, 2 und 6) angezogen sind, muss die Nadelspitze

exakt im Kameramittelpunkt liegen!

7 Die-Ejector

7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 157

7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-

Richtung (Fokus)

7.5.1 Nadeln des Nadel-Ausstechsystems tauschen

VORSICHT

Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln

Es besteht Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln in der Nadel-Einheit.

Es gibt zwei verschiedene Versionen des Nadel-Ausstechsystems:

Alte Version: Nadel-Ausstechsystem mit Bajonettverschluss (nicht mehr lieferbar)

Aktuelle Version: Nadel-Ausstechsystem mit Magnetbefestigung

Im Schadensfall bei einem Nadel-Ausstechsystem mit Bajonettverschluss muss zwangsläufig auf

die neue Version mit Magnetbefestigung umgerüstet werden (siehe 7.6 "Umbau Nadel-Aus-

stecheinheit Bajonett (alte Version) auf Nadel-Ausstecheinheit Magnetisch (aktuelle Versi-

on)" [}168].

7.5.1.1 Vorbereitende Tätigkeiten

► Fahren Sie den Wafertisch in Wechselposition.

► Fahren Sie die Die-Ejector Z-Achse nach oben.

Abb.198: Nadel-Einheit für Die-Ejector, magnetisch