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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 227 Abb.295: ► Setzen Sie Sicherungsschraube Nr. 3 (M5x16) der Die-Attach-Unit ein und ziehen …
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
226 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.293:
► Entfernen Sie die unteren Sicherungsschrauben (7) am Vakuumventil Y6. Lockern Sie die
obere Schraube (8) und drehen Sie das Ventil Y 6 (11) um die Position der Sicherungsschrau-
ben Nr.1(12) (M5x16) um Die-Attach-Unit zugänglich zu machen.
► Setzen Sie die Die-Attach-Sicherungsschraube ein, aber ziehen Sie diese noch nicht fest.
Abb.294:
► Setzen Sie Sicherungsschraube Nr. 2 (M5x16) der Die-Attach-Unit ein und ziehen Sie diese
leicht fest.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 227
Abb.295:
► Setzen Sie Sicherungsschraube Nr. 3 (M5x16) der Die-Attach-Unit ein und ziehen Sie diese
leicht fest.
► Prüfen Sie, ob die Transfer-X-Achse der Die-Attach-Unit leichtgängig von Hand bewegt wer-
den kann.
– Falls nicht oder wenn der Rachen der X-Achse leicht verdreht ist, dann lockern Sie alle
drei Sicherungsschrauben noch einmal.
– Verschieben Sie die Die-Attach-Unit und drücken Sie diese herunter. Ziehen Sie die drei
Sicherungsschrauben schrittweise fest.
– Manchmal hängt die Die-Attach-Unit am Zentrierbolzen fest. Diese ist dann leicht gekippt
und kann nicht vollständig auf die Grundplatte herunter gesetzt werden. In diesem Fall ist
der Rachen der Transfer-X-Achse nicht korrekt ausgerichtet.
– Ziehen Sie nun alle drei Sicherungsschrauben der Die-Attach-Unit an.
– Verschieben Sie die Transfer-X-Achse von Hand.
Wenn der Rachen den Laufring des Flip-Kopfes berührt, dann lockern Sie die drei Siche-
rungsschrauben der Die-Attach-Unit.
Verschieben Sie die Die-Attach-Unit und drücken Sie diese herunter.
Ziehen Sie die drei Sicherungsschrauben dann schrittweise fest.
Manchmal hängt die Die-Attach-Unit am Zentrierbolzen fest und kann nicht vollständig auf
die Grundplatte herunter gesetzt werden.
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228 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.296:
► Drehen Sie das Vakuumventil Y6 in seine Position zurück, setzen Sie die Sicherungsschrau-
ben ein und ziehen Sie diese fest.
Abb.297:
► Lockern Sie die in der Abbildung gezeigte Schraube, führen Sie das Erdungskabel darunter
hindurch und ziehen Sie die Schraube wieder fest.