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12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen 316 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Klemmung lösen Abb.441: ► Entfernen Sie den Sprengring an der Welle (2) der Klemmung (1) . ► Hän…
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 315
12.7.3.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme
Niederhalter-Blech ausbauen
Siehe hierzu auch die Abschnitte 12.4 "Ausbau Wafer-Stretcher" [}284] und 12.6 "Einbau Wafer-
Stretcher" [}297].
Es muss das Niederhalter-Blech für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.
Abb.440: Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
► Stecken Sie das Hilfstool zur Fixierung der Hubkolben (2) in die Öffnung und fixieren Sie
damit den innen liegenden Hubkolben.
► Entfernen Sie nacheinander die jeweils vier Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Ble-
chen(4).
► Entnehmen Sie die konische Fixierscheibe (3). Achten Sie darauf, dass Sie diese für den spä-
teren Wiedereinbau nicht verlieren.
► Entnehmen Sie die beiden Niederhalter-Bleche (4).
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316 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Klemmung lösen
Abb.441:
► Entfernen Sie den Sprengring an der Welle (2) der Klemmung (1).
► Hängen Sie die Klemmung aus, so dass der Klemmhebel (3) frei ist (4).
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Hubring bei 8“-Waferstretcher entfernen
Der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme muss ausgetauscht werden.
Abb.442: Wafer-Aufnahme - Hubring ausbauen
► Entfernen Sie die vier Schrauben (1) (Fixierung des Hubringes).
► Entnehmen Sie die Fixierscheibe (2) und die Feder (3). Achten Sie darauf, dass Sie die Fixier-
scheibe (2) und die Feder (3) für den späteren Wiedereinbau nicht verlieren.
► Stecken Sie die beiden Sensoren (4) am Stecker (5) der Kabelverlängerung (6) ab.
► Entnehmen Sie den Hubring.