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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 243 Abb.322: Abb.323: ► Montieren Sie die Lehre zurück in die Original-Position. ► Wählen Sie…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
242 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.320:
► Entfernen Sie das Kalibrier-Tool vom Die-Attach-Antrieb. Entfernen Sie dazu die Befesti-
gungsschraube (siehe Abbildung).
Abb.321:
► Entfernen Sie die Pipette vom Die-Attach-Segment und drehen Sie das Segment in die obere
Transfer-Position. Montieren Sie die Lehre (siehe Abbildung).
► Wählen Sie Next.
ð Nach erfolgreicher Kalibrierung erscheint das Fenster mit Step 3.
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 243
Abb.322:
Abb.323:
► Montieren Sie die Lehre zurück in die Original-Position.
► Wählen Sie Next.
ð Das folgende Fenster mit Step 4 erscheint.
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
244 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.324:
► Wählen Sie Finish.
ð Die Die-Attach-Drehachse wird initialisiert.
ð Wenn die Kalibrierung korrekt durchgeführt wurde, dann muss nach der Initialisierung das
Segment in der oberen Transfer-Position stehen.
10.1.5.2 Kalibrierung der Die-Attach Transfer-X-Achse
► Wechseln Sie in den Bedienerlevel Service.
Abb.325:
► Wählen Sie das Service Menü und dann wählen Sie den Button für Transfer-X-Achse.
► Wählen Sie den Button Automatic calibration.
ð Die Kalibrierung der Transfer-X-Home-Position wird automatisch ausgeführt.