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15 Kalibrierung 15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit 384 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.544: ● Die Z-Achse wird nach oben verfahren bis zum Timeout, wenn das Lager ein Segment be- rührt. ●…
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 383
Abb.542:
► Nach erfolgreicher automatischer Kalibrierung der Z-Achse ändert sich der Status in Ready.
► Der kalibrierte Wert für Nullpunktkorrektur der Z-Achse wird in Home position of Z axis (µm)
angezeigt.
Wie die automatische Kalibrierung der Flip-Kopf-Z-Achse funktioniert
●
Der Haltezylinder der Z-Achse wird als Start-Grundstellung für die Z-Achse verwendet.
●
Die Flip-Drehachse wird in die Grundstellung verfahren.
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Die Flip-Drehachse wird um einen definierten Wert nach rechts gedreht.
Abb.543:
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Die Z-Achse wird nach unten verfahren bis zum Timeout, wenn das Lager ein Segment be-
rührt.
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Dieser Z-Wert wird gespeichert.
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
384 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.544:
●
Die Z-Achse wird nach oben verfahren bis zum Timeout, wenn das Lager ein Segment be-
rührt.
●
Dieser Wert wird gespeichert.
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Aus diesen beiden Werten wird die Grundstellung für die Z-Achse berechnet (Durchschnitts-
wert).
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Die Flip-Drehachse wird um einen definierten Wert nach links gedreht.
Abb.545:
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Die Z-Achse wird nach unten verfahren bis zum Timeout, wenn das Lager ein Segment be-
rührt.
●
Dieser Z-Wert wird gespeichert.
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 385
Abb.546:
●
Die Z-Achse wird nach oben verfahren bis zum Timeout, wenn das Lager ein Segment be-
rührt.
●
Dieser Wert wird gespeichert.
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Aus diesen beiden Werten wird die Grundstellung für die Z-Achse berechnet (Durchschnitts-
wert).
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Basierend auf diesen vier ermittelten Werten, kann der exakte Durchschnittswert für die Null-
punktkorrektur der Z-Achse berechnet werden.
●
Der Nullpunkt der Z-Achse ist nun exakt in der Mitte des Laufrings!
15.3.2.4 Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrieren
HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus muss aktiviert sein!
Benötigte Werkzeuge
●
Teflonband (lokale Quelle → Klempnereibedarf / Baumarkt) → keine ASM-Artikelnummer
●
Pipette 906 oder vergleichbare Pipetten mit einer scharfen Spitze (2x Pipetten erforderlich für
jedes Segment)
Arbeitsschritte
Diese Kalibrierung ermittelt und kompensiert den Offset zwischen Segment 1 und Segment 2 in
X‑Richtung.
Ausstechnadel, Kameramittelpunkt (rotes Kreuz in Vision-Ansicht) und beide Segmentmittelpunkte
sollten in einem Punkt liegen.
Mit der folgenden Kalibrierung kann nur die Software-Korrektur in X-Richtung (Drehung Flip-Kopf)
durchgeführt werden.
Sollten Ihre Segmente auch einen signifikanten Offset in Y-Richtung aufweisen, könnte eine me-
chanische Anpassung nötig sein. Manchmal hilft es, die Pipette des entsprechenden Segments um
180° zu drehen (einige Pipetten können in X oder Y Toleranzen von bis zu 70µm haben). Wenn
der Offset in Y-Richtung auf diese Weise nicht verbessert werden kann, wenden Sie sich bitte an
Ihren lokalen Service-Partner für weitere Unterstützung.
► Setzen Sie die Pipetten von Hand auf die Segmente (im Beispiel Pipettentyp 906).