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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.2 Übersicht Gesamtaufbau 70 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 5.2.3 Überblick Sensoren Abb.47: Abb.48:
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 69
5.2.2 Aufbau und Ersatzteile – X/Y-Unit [00386776-xx] (Beispiel SWS 1/3)
Diese Einheit ist für die Bewegung des Wafertisches in X-Richtung zuständig.
Abb.46:
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung Anmerkung
1 00385072-xx Bürstenloser Cybermotor - X-Achse
2 03106447-xx Spielfreie Elastomerkupplung d6,d10
3 0384600-xx Platine AD-MOT Rev.0 Sub-D = abgewinkelt Unter der
Abdeckung
4 Kugelgewindetrieb und Lagereinheit
5 0386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE RL2
6 0386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE FL2
7 00379046-xx Adapter-Platine Wafertisch AD-WT Rev.0 Unter der
Abdeckung
8 Covershield for Heating Unit (Stretcher) --> Option
Die Ersatzteile für die
X/Y-Unit SWS12 (1,3) - [00386776-xx]
und die
X/Y-Unit SWS12 (2,4) - [00385864-xx]
sind identisch.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
70 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
5.2.3 Überblick Sensoren
Abb.47:
Abb.48:
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 71
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung Anmerkung
1 00379046-xx Adapter-Platine Wafertisch AD-WT Rev.0
2 00386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE RL1
3 00386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE FL1
4 00384820-xx Gabellichtschranke (Home-Sensor X-Achse) HO1
5 Betätiger für Näherungsschalter X-Achse
6 00386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE RL2
7 00386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE FL2
8 00384820-xx Gabellichtschranke (Home-Sensor Y-Achse) HO2
9 Betätiger für Näherungsschalter Y-Achse
Auf der Adapterplatine Wafertisch AD-WT REv.0 [00379046-xx] laufen die Sensoren zusammen.
Abb.49:
Die Näherungsschalter RL1 und FL1 und die beiden Home-Sensoren HO1 und HO2 kommen von
einer Seite (im Beispiel SWS 2/4 von links).
Die Näherungsschalter RL2 und FL kommen von einer Seite (im Beispiel SWS 2/4 von rechts).
Die Kabel der Sensoren verlaufen unterhalb der dicken Grundplatte.
Die Kabel der Sensoren werden wie folgt angesteckt: