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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 357 Abb.502: ► Entnehmen Sie die GALIL-Karte nach oben aus dem SWS.
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
356 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.500:
► Schrauben Sie die Masseverbindung der GALIL-Karte ab.
Abb.501:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben der GALIL-Karte am Einschubrahmen.
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13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 357
Abb.502:
► Entnehmen Sie die GALIL-Karte nach oben aus dem SWS.
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13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
358 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
13.3.2 GALIL AMP-19540 im Detail
Abb.503:
Alle angeschlossenen Kabel haben die gleichen Bezeichnungen wie die Stecker auf der GALIL-
Karte.
Die sind in unserem Beispiel für AXIS1-4:
Bezeichnung Beschreibung
X03 Einspeisung 48V von der Stromversorgung zum Antrieb der Achsmotoren
MP1 Ausgang Spannungsversorgung Motor Wafer-Table X-Achse
MP2 Ausgang Spannungsversorgung Motor Wafer-Table Y-Achse
MP3 Ausgang Spannungsversorgung Motor Die-Ejector Tool-Change
MP4 Ausgang Spannungsversorgung Motor Die-Ejector
ENC1 Encodersignale Motor Wafer-Table X-Achse
ENC2 Encodersignale Motor Wafer-Table Y-Achse
ENC3 Encodersignale Motor Die-Ejector Tool-Change
ENC4 Encodersignale Motor Die-Ejector
J31 AUX-IO → Limit-Switches Achsen 1-4 / Input Signale 1-8 / Output Signale 1-8
Analog-1 ANALOG-Input 1-8 (Optional)
J1 Verbindung PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller DMC-1886 im BoxPC (Control)