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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 241 Abb.318: ► Das Fenster Calibration of die attach axes zeigt Ihnen im Folgenden Information…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
240 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
10.1.5 Kalibrierung der Die-Attach-Unit
Um die Die-Attach-Unit zugänglich zu machen und zu kalibrieren, muss die Abdeckung der CA-
Maschine geöffnet werden!
Aus diesem Grund muss der Setup-Modus aktiviert sein!
HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus muss aktiviert sein!
(Die folgenden Screenshots der GUI sind ohne den Setup-Modus erstellt worden!)
10.1.5.1 Kalibrierung der Die-Attach-Drehachse
► Wechseln Sie in den Bedienerlevel Service.
Abb.316:
► Wählen Sie das Service-Menü und dann wählen Sie den Button Die handling calibration.
Abb.317:
► Wählen Sie den Button Calibration wizard.
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10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 241
Abb.318:
► Das Fenster Calibration of die attach axes zeigt Ihnen im Folgenden Informationen darüber
was der Kalibrier-Assistent tun wird und was der Bediener tun muss.
In Step 1 gibt es für den Bediener nichts zu tun.
► Wählen Sie Next.
Abb.319:
► Step 2 wird automatisch durchgeführt.
Führen Sie folgende Schritte wie auf dem Bildschirm genannt durch:
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Abb.320:
► Entfernen Sie das Kalibrier-Tool vom Die-Attach-Antrieb. Entfernen Sie dazu die Befesti-
gungsschraube (siehe Abbildung).
Abb.321:
► Entfernen Sie die Pipette vom Die-Attach-Segment und drehen Sie das Segment in die obere
Transfer-Position. Montieren Sie die Lehre (siehe Abbildung).
► Wählen Sie Next.
ð Nach erfolgreicher Kalibrierung erscheint das Fenster mit Step 3.