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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.1 Ausbau und Tausch BoxPC 340 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 13.1.2 Vorbereitung zum Ausbau des BoxPC Abb.475: ► Entfernen Sie die beiden Befestigungssc…
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.1 Ausbau und Tausch BoxPC
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 339
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.1 Ausbau und Tausch BoxPC
13.1.1 Vorbereitende Tätigkeiten
13.1.1.1 Datenbackup
► Erzeugen Sie vom BoxPC eine Recovery-DVD.
► Führen Sie ein Maschinendaten-Backup durch.
► Führen Sie ein Prozessdaten-Backup durch.
► Erzeugen Sie einen Bugreport.
Diese mehrfach erzeugten Daten dienen zur Absicherung gegen einen Datenverlust.
13.1.1.2 SWS vorbereiten
► Fahren Sie den Waferlift in die Magazinentnahmeposition (Press Remove Magazin).
► Fahren Sie die Software des SWS herunter.
► Trennen Sie den SWS vom Stromnetz.
► Bauen Sie den SWS aus der CA-Maschine aus.
Abb.474:
► Klappen Sie den Waferlift zur Seite, so dass ein freier Zugang zum BoxPC besteht (siehe
auch 4.3 "Magazinlift aufschwenken" [}65]).
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13.1 Ausbau und Tausch BoxPC
340 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
13.1.2 Vorbereitung zum Ausbau des BoxPC
Abb.475:
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben des Einzugsbleches.
Abb.476:
► Demontieren Sie das linke Abdeckblech und ziehen Sie das Erdungskabel zum SWS ab.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 341
Abb.477:
► Ziehen Sie das Einzugsblech aus dem Rahmen, bis die hintere und vordere Halteschraube
(1) des BoxPC zugänglich sind.
► Lockern Sie die beiden Schrauben(2), so dass der BoxPC auf dem Einzugsblech verschoben
werden kann.
Stecken Sie vor dem Herausziehen des BoxPC alle Verbindungen(3) wie folgt ab: