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7 Die-Ejector 7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position 154 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.192: ► Wechseln Sie in das Livebild der Waferkamera (3 und 4) . Abb.193: HINWEIS ► Fal…
7 Die-Ejector
7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 153
Abb.190:
► Verschieben Sie den Wafertisch in Richtung Waferlift(2), um Zugang zu allen Befestigungs-
schrauben(1) der Die-Ejector-Grundplatte zu bekommen.
7.4.2 Justage der Nadel in X/Y-Position
Abb.191:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (1 und 2) der Grundplatte und drücken Sie die
Grundplatte in Richtung Exzenterwelle.
7 Die-Ejector
7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
154 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.192:
► Wechseln Sie in das Livebild der Waferkamera (3 und 4).
Abb.193:
HINWEIS
► Falls der Punkt der Nadelspitze nicht sichtbar ist, wechseln Sie hier in das Menü Illu-
mination und stellen Sie Beleuchtung ein, bis die Nadelspitze / der Nadelkonus sicht-
bar ist.
7 Die-Ejector
7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 155
Abb.194:
► Drehen Sie an der Exzenterwelle (5), bis im Livebild Waferkamera der Punkt der Nadelspitze
unter der roten Linie liegt. → Justage in X-Position
Abb.195:
► Entfernen Sie die zwei Arretierungsschrauben (6) auf der Exzenterwelle, damit die Grundplat-
te in Y‑Richtung bewegt werden kann. Die hintere Arretierungsschraube(6) kann nur erreicht
werden, wenn zuvor der Wafertisch manuell ganz in Richtung Waferlift geschoben wurde.
► Die Exzenterschraube(7) dient zum Einstellen der Grundplatte in Y-Richtung (Inbus 4mm).