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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher 290 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 ► Heben Sie den Hubzylinder ab und entnehmen die Inbusschraube (1) und die Führungs- buchse (2) . Abb.398: ► Schwen…

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12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 289
Die obere Befestigungsschraube (2) wurde schon im Zuge der Demontage des Abdeckblechs aus-
gebaut.
Abb.396:
► Klappen Sie den Klemmzylinder (1) nach Außen weg.
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (2) des Wafer-Stretchers vom darunterliegen-
den Führungswagen.
Abb.397:
► Lösen Sie den Hubzylinder.
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
290 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Heben Sie den Hubzylinder ab und entnehmen die Inbusschraube (1) und die Führungs-
buchse(2).
Abb.398:
► Schwenken Sie den Hubzylinder (1) zur Seite. Fädeln Sie bei Bedarf dabei auch die Verbin-
dung am Kolbenende aus.
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (2) des Wafer-Stretchers vom darunterliegen-
den Führungswagen.
Auf dieser Seite des Wafer-Stretchers befindet sich noch die Verbindung zur Spindel in X-Rich-
tung. Um diese Verbindung zu lösen geht man wie folgt vor:
Abb.399:
► Entfernen Sie die vier Schrauben an der Spindelmutter (2) unterhalb des Klemmzylinders (1).
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 291
Abb.400:
► Markieren Sie die Lage der Spindelmutter z.B. mit einem Stift (1).
► Halten Sie die Spindelmutter fest (1) und drehen Sie die Spindel (2), so dass sich die Spindel-
mutter vom Mitnehmerblock des Wafertisches löst.
ODER
► Schieben Sie den Wafer-Stretcher mit der Hand von der Spindelmutter weg (3).
ð Nun sollte zwischen Spindelmutter und dem Mitnehmerblock ein Abstand sein.
Abb.401:
► Entfernen Sie die beiden Sechskant-Schrauben (1) mit einem Gabelschlüssel oder einer Rat-
sche.
ð Der Mitnehmerblock ist nun vom Wafertisch getrennt.