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11 Ausbaugruppen 11.2 Linear-Dipping-Unit (LDU) Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 267 11.2 Linear-Dipping-Unit (LDU) Abb.359: Linear-Dipping-Unit (LDU) ● Linear-Dipping Unit SWS12 (1/3) [03073446-xx] ●…

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11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
266 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
11.1.3.9 Einschraubzylinder der Niederhalter tauschen
VORSICHT
Nur erfahrene Servicetechniker der Fa. ASM Assembly Systems GmbH & Co.KG
Das Tauschen der Einschraubzylinder der Niederhalter und die dazu notwendigen Einstel-
lungen dürfen nur erfahrene Servicetechniker der Fa. ASM Assembly Systems GmbH &
Co.KG durchführen. Eine unsachgemäße Montage kann zu Funktionsstörungen am SWS
führen.
Abb.357: Niederhalter
► Lockern Sie die Madenschraube (1) von oben am Niederhalter.
► Drehen Sie den Niederhalter (3) komplett mit der Mutter heraus. Achten Sie auf den schwar-
zen O‑Ring(4). Tauschen Sie diesen ggf. durch einen neuen aus.
► Drehen Sie den neuen Niederhalter ein und fixieren (kontern) Sie die Höhe mit der Kontermut-
ter(5).
Höhe der Niederhalter einstellen
Abb.358: Niederhalter - Höhe einstellen
●
Position (1): Pilz bündig von der Unterkante der Auflageleiste zur Oberkante Pilz
●
Position (2): Abstand von 5 mm von der Unterkante der Auflageleiste zur Oberkante Pilz im
ausgefahrenen Zustand
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11.2 Linear-Dipping-Unit (LDU)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 267
11.2 Linear-Dipping-Unit (LDU)
Abb.359: Linear-Dipping-Unit (LDU)
●
Linear-Dipping Unit SWS12 (1/3) [03073446-xx]
●
Linear-Dipping Unit SWS12 (2/4) [00386344-xx]
HINWEIS
Serviceanleitung LDU-X
Die Servicearbeiten zur LDU entnehmen Sie der Serviceanleitung LDU-X.
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11.2 Linear-Dipping-Unit (LDU)
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