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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 221 10.1.3 Einbau der Option Die-Attach-Unit in das SWS Abb.284: ► Entfernen Sie die Kabelbind…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
220 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.282:
Pos. Bezeichnung
1 Vorverdrahtete Komplettbaugruppe Die-Attach-Unit SWS
2 Spannungsversorgung Motor Rotate Die-Attach Kabel 00386236-xx an Connector
MOT-1
3 Signale Motor Rotate Die-Attach Kabel 00386234-xx an Connector ENCH1
4 Spannungsversorgung Motor Flip-Tool-X Kabel 00386237-xx an Connector MOT-2
5 Signale Motor Flip-Tool-X Kabel 00386235-xx an Connector ENCH2
Abb.283:
Pos. Bezeichnung
1 Vorverdrahtete Komplettbaugruppe Die-Attach-Unit SWS
2 Sensoren Die-Attach Unit Control IO/OUT Kabel 00386020-xx an ST1-12
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 221
10.1.3 Einbau der Option Die-Attach-Unit in das SWS
Abb.284:
► Entfernen Sie die Kabelbinder an den Die-Attach-Kabeln.
Abb.285:
► Entfernen Sie die beiden Schrauben und nehmen Sie das Füllstück aus dem Laufring des
Flip-Kopfes. Um zu verhindern, dass Sie die Schrauben verlieren, legen Sie ein Blatt Papier
unter (nicht in der Abbildung gezeigt)!
An dieser Position wird die Transfer-X-Achse der Die-Attach-Unit eingesetzt. Die Transfer-X-Achse
verfährt Segment 1 des Flip-Kopfes Richtung Die-Attach-Segment.
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
222 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.286:
► Bewahren Sie das Füllstück auf, indem Sie es, wie gezeigt, am Die-Attach-Modul montieren.
Abb.287:
► Entfernen Sie die Dichtungskappe vom schwarzen Vakuumschlauch.