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17 Tipps und Tricks 17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewegen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 479 Abb.740: ► Nach dem Abstecken des Schlauches „Zuleitung Hubz…

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17 Tipps und Tricks
17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewegen
478 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Vorgehensweise Absenken
Abb.739:
► Suchen Sie an der Pneumatik-Einheit des Die-Ejetors (3) nach dem Schlauch "Zuleitung Hub-
zylinder" (4).
17 Tipps und Tricks
17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewegen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 479
Abb.740:
► Nach dem Abstecken des Schlauches „Zuleitung Hubzylinder“ (5) lässt sich die Z-Achse des
Die-Ejectors langsam absenken. Entweder fährt sie leichtgängig von selbst in die untere Posi-
tion, oder Sie drücken sie leicht von Hand nach unten (bis auf Anschlag).
► Falls dies nicht der Fall ist, sind eventuell die Schläuche vertauscht. Versuchen Sie in diesem
Fall den anderen Schlauch am Pneumatik-Anschluss (6).
17 Tipps und Tricks
17.2 Wafer-Changer Kalibrier-Probleme
480 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
17.2 Wafer-Changer Kalibrier-Probleme
Fehlerbeschreibung
Der Wafer-Changer muss immer komplett, auch mit Verfahrwegen ("Kalibrierung Grenzen"), kali-
briert werden.
Wird nur die Nullpunktposition kalibriert, tritt folgendes Fehlerbild auf:
Abb.741:
Nach einem Neustart und dem Versuch der Initialisierung des SWS wird die Fehlermeldung (siehe
Bild) angezeigt.
Versucht man nun den Waferwechsler zu kalibrieren, muss die Liftachse die Magazinplatte so posi-
tionieren, dass der Wafergreifer beim Kalibrieren der Verfahrwege ("Kalibrierung Grenzen") nicht
mit dieser kollidiert.
Die Initialisierung des Gesamtsystems wird beim Versuch den Waferwechsler zu referenzieren ge-
stoppt, da dieser nicht kalibriert ist. Die im Initialisierungsablauf nachfolgende Liftachse wird also
nicht initialisiert. Deshalb ist es nicht möglich die Liftachse zu verfahren und die Software gibt beim
Versuch den Waferwechsler zu kalibrieren die Meldung "19732 Wafer handler calibration failed! /
19733 Unable to move lift into ´CalibrateHandler´ position!".
Vorgehensweise
Um den Waferwechsler kalibrieren zu können, muss zuerst die Liftachse initialisiert werden. Gehen
Sie dafür wie folgt vor:
Abb.742:
► Wechseln Sie in den Bediener Level SIPLACE Service.
Drücken Sie dazu gleichzeitig die Tasten Shift+Strg+Alt+S. Daraufhin erscheint der Button
SIPLACE service. Wählen Sie diesen Button und geben Sie das Passwort MS128 ein.