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12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 321 Klotz auf Klemmung montieren Abb.447: Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren ► Montieren …
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
320 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
Abb.446: Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
► Stellen Sie die elektrischen Verbindungen der Sensoren wieder her.
► Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
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12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 321
Klotz auf Klemmung montieren
Abb.447: Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
► Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme)
Abb.448: Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren
► Montieren Sie das Abdeckblech (1) mit vier Schrauben auf die Waferaufnahme.
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12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
322 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Hubring montieren
Abb.449: Wafer-Aufnahme - Hubring montieren
► Legen Sie den Hubring (1) ein.
► Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.
► Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.
► Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).